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龍圖騰網(wǎng)恭喜東京毅力科創(chuàng)株式會社申請的專利使用磷酸水溶液的蝕刻處理裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN111430273B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-06發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202010248647.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)使用磷酸水溶液的蝕刻處理裝置是由佐藤秀明;佐藤尊三設(shè)計研發(fā)完成，并于2016-01-29向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本使用磷酸水溶液的蝕刻處理裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種使用磷酸水溶液的蝕刻處理裝置。該蝕刻處理裝置具有：處理槽，其用于利用加熱磷酸水溶液而得到的蝕刻液對基板進行蝕刻處理；處理液供給部，其向所述處理槽供給磷酸水溶液；處理液循環(huán)部，其使所述處理槽的內(nèi)部的蝕刻液循環(huán)；處理液排出部，其使所述蝕刻液排出；以及控制部，其對所述處理液供給部、所述處理液循環(huán)部以及所述處理液排出部進行控制，其中，所述控制部利用所述處理液循環(huán)部使蝕刻液循環(huán)，使蝕刻液從所述處理液排出部排出，并且從所述處理液供給部向所述處理槽供給磷酸水溶液，所述控制部還使用蝕刻液中的硅濃度信息進行控制，以使浸漬了基板的蝕刻液的硅濃度成為規(guī)定濃度范圍。

本發(fā)明授權(quán)使用磷酸水溶液的蝕刻處理裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種使用磷酸水溶液的蝕刻處理裝置，其特征在于，具有：處理槽，其用于利用加熱磷酸水溶液而得到的蝕刻液對基板進行蝕刻處理；處理液供給部，其向所述處理槽供給磷酸水溶液；處理液循環(huán)部，其使所述處理槽的內(nèi)部的蝕刻液循環(huán)；處理液排出部，其使所述蝕刻液排出；以及控制部，其對所述處理液供給部、所述處理液循環(huán)部以及所述處理液排出部進行控制，其中，所述控制部利用所述處理液循環(huán)部使蝕刻液循環(huán)，使蝕刻液從所述處理液排出部排出，并且從所述處理液供給部向所述處理槽供給磷酸水溶液，預先調(diào)查所述基板的蝕刻時間、所述蝕刻處理中的蝕刻液的排出量、新的磷酸水溶液的供給量以及蝕刻液中的硅濃度之間的關(guān)系，所述控制部通過在所述基板的蝕刻處理中排出規(guī)定量的蝕刻液并且新供給規(guī)定量的磷酸水溶液來使浸漬了所述基板的蝕刻液的硅濃度成為規(guī)定濃度范圍，所述控制部還使用在規(guī)定的定時測量的蝕刻液中的硅濃度信息進行控制，以使浸漬了基板的蝕刻液的硅濃度成為規(guī)定濃度范圍。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人東京毅力科創(chuàng)株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。