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龍圖騰網(wǎng)恭喜ASML荷蘭有限公司申請的專利帶電粒子源模塊獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114937585B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-06發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210698168.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/065；該發(fā)明授權(quán)帶電粒子源模塊是由L·迪努-格爾特勒;E·P·霍杰沃斯特;J·范索伊斯特設(shè)計研發(fā)完成，并于2018-04-10向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本帶電粒子源模塊在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種用于產(chǎn)生和發(fā)射帶電粒子束的帶電粒子源模塊，包括：框架，包括第一框架部分、第二框架部分以及布置在第一框架部分和第二框架部分之間的并且剛性地連接至它們的一個或多個剛性支撐構(gòu)件，框架包括安裝構(gòu)件，安裝構(gòu)件通過撓曲連接件而連接到第二框架部分；用于產(chǎn)生帶電粒子束的帶電粒子源裝置，其中帶電粒子源裝置被布置在第二框架部分處，包括：發(fā)射器裝置，被配置用于發(fā)射帶電粒子；以及電極，用于從由發(fā)射器裝置發(fā)射的帶電粒子形成帶電粒子束；和布置在第一框架部分處的電力連接組件，電力連接組件剛性地連接到第一框架部分，并且?guī)щ娏Ｗ釉囱b置剛性地連接到第二框架部分，其中帶電粒子源裝置經(jīng)由電線電連接至電力連接組件。

本發(fā)明授權(quán)帶電粒子源模塊在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于產(chǎn)生和發(fā)射帶電粒子束的帶電粒子源模塊，包括：-框架，所述框架包括第一框架部分、第二框架部分以及布置在所述第一框架部分和所述第二框架部分之間的并且剛性地連接至所述第一框架部分和所述第二框架部分的一個或多個剛性支撐構(gòu)件，所述框架包括緊固構(gòu)件，所述緊固構(gòu)件通過撓曲連接件而連接到所述第二框架部分且用于將所述帶電粒子源模塊固定到用于接收所述帶電粒子束的帶電粒子光學(xué)系統(tǒng)；-用于產(chǎn)生帶電粒子束的帶電粒子源裝置，其中所述帶電粒子源裝置被布置在所述第二框架部分處，所述帶電粒子源裝置包括：發(fā)射器裝置，所述發(fā)射器裝置被配置用于發(fā)射帶電粒子；以及電極，所述電極用于從由所述發(fā)射器裝置發(fā)射的所述帶電粒子形成帶電粒子束；和-布置在所述第一框架部分處的電力連接組件，所述電力連接組件剛性地連接到所述第一框架部分，并且所述帶電粒子源裝置剛性地連接到所述第二框架部分，其中所述帶電粒子源裝置經(jīng)由電線電連接至所述電力連接組件，以及其中所述第二框架部分包括環(huán)形安裝板，每個所述撓曲連接件包括設(shè)置在所述環(huán)形安裝板的外周處的連接唇，并且在所述連接唇中限定固定孔徑以接收所述緊固構(gòu)件。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人ASML荷蘭有限公司，其通訊地址為：荷蘭維德霍溫；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。