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龍圖騰網(wǎng)恭喜浙江晶盛機(jī)電股份有限公司申請(qǐng)的專利一種半導(dǎo)體硅晶片全自動(dòng)邊緣拋光裝置及方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN112589646B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-06發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202010608793.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B24B29/02；該發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體硅晶片全自動(dòng)邊緣拋光裝置及方法是由朱亮;曹建偉;傅林堅(jiān);盧嘉彬;謝永旭;陳明;謝龍輝;張帥設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-06-29向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種半導(dǎo)體硅晶片全自動(dòng)邊緣拋光裝置及方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明屬于半導(dǎo)體硅晶片的邊緣拋光領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體硅晶片全自動(dòng)邊緣拋光裝置及方法。裝置包括柜體，柜體內(nèi)部在進(jìn)料口和出料口旁側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)有硅晶片上料機(jī)械手和下料水槽，柜體外右側(cè)部設(shè)有晶圓傳送盒、空中行走式無人搬送車和AGV小車；柜體內(nèi)部側(cè)邊上設(shè)有直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)有多個(gè)硅晶片前后夾持機(jī)械手和硅晶片左右夾持機(jī)械手；柜體內(nèi)部的進(jìn)料口后方的依次設(shè)有V?Notch和平邊粗拋裝置、V?Notch和平邊精拋裝置，下料水槽后方依次設(shè)有下料清洗裝置、邊緣精拋裝置和邊緣粗拋裝置。本發(fā)明同時(shí)滿足兩種不同類型的半導(dǎo)體硅晶片的邊緣拋光需求，解決硅晶片邊緣拋光表面粗糙度一致的問題，同時(shí)能夠有效保護(hù)硅晶片正反表面不受損壞，提升拋片合格率。

本發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體硅晶片全自動(dòng)邊緣拋光裝置及方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體硅晶片全自動(dòng)邊緣拋光裝置，其特征在于，包括操作面板、柜體、上下料裝置、機(jī)械手裝置和拋光裝置；所述柜體為立方形箱體結(jié)構(gòu)，所述上下料裝置包括空中行走式無人搬送車和AGV小車；柜體右側(cè)壁上對(duì)稱開有進(jìn)料口和出料口，柜體內(nèi)部在進(jìn)料口和出料口旁側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)有硅晶片上料機(jī)械手和下料水槽，柜體外右側(cè)部設(shè)有晶圓傳送盒、空中行走式無人搬送車和AGV小車；空中行走式無人搬送車用于裝置上料，AGV小車用于裝置下料；所述機(jī)械手裝置包括設(shè)于柜體內(nèi)部除右側(cè)其三個(gè)側(cè)邊上的直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)有多個(gè)硅晶片前后夾持機(jī)械手和硅晶片左右夾持機(jī)械手，所述硅晶片前后夾持機(jī)械手包括L形支撐架，支撐架底部通過手爪升降氣缸與直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，支撐架側(cè)部設(shè)有手爪開閉氣缸，手爪開閉氣缸與硅晶片夾持滾輪相連，所述手爪開閉氣缸上的硅晶片夾持滾輪布置于所述手爪開閉氣缸輸出端的軸向方向上；所述硅晶片左右夾持機(jī)械手包括L形支撐架，支撐架底部通過手爪升降氣缸與直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，支撐架側(cè)部設(shè)有手爪翻轉(zhuǎn)開閉氣缸，手爪翻轉(zhuǎn)開閉氣缸與硅晶片夾持滾輪相連，所述手爪翻轉(zhuǎn)開閉氣缸上的硅晶片夾持滾輪分別布置于所述手爪翻轉(zhuǎn)開閉氣缸輸出端的軸向方向的兩側(cè)；所述拋光裝置包括柜體內(nèi)部依次設(shè)于進(jìn)料口后方的硅晶片校準(zhǔn)器、V-Notch和平邊粗拋裝置、V-Notch和平邊精拋裝置和中間清洗裝置，所述V-Notch和平邊粗拋裝置、V-Notch和平邊精拋裝置結(jié)構(gòu)相同，均包括設(shè)于同一個(gè)工位上的拋光機(jī)構(gòu)和硅晶片外圓周夾持式機(jī)械手；拋光機(jī)構(gòu)包括拋頭旋轉(zhuǎn)主軸，拋頭旋轉(zhuǎn)主軸下端連接同步帶輪，頂端可拆卸連有V-Notch拋光輪或平邊拋光輪，拋光輪上覆設(shè)有拋光布；同步帶輪通過同步帶與電機(jī)相連，電機(jī)能驅(qū)動(dòng)同步帶輪正反轉(zhuǎn)，從而帶動(dòng)拋頭正反轉(zhuǎn)；所述硅晶片外圓周夾持式機(jī)械手包括手爪固定基座和夾持手爪，手爪固定基座底部通過滑塊設(shè)于手爪進(jìn)給導(dǎo)軌上，手爪進(jìn)給導(dǎo)軌上設(shè)有手爪進(jìn)給驅(qū)動(dòng)電機(jī)；手爪固定基座底部還設(shè)有硅晶片加壓氣缸和同步帶輪，手爪固定基座內(nèi)頂部設(shè)有水平翻轉(zhuǎn)軸，翻轉(zhuǎn)軸一端通過翻轉(zhuǎn)臂連接夾持手爪，另一端通過同步帶與同步帶輪相連，同步帶輪與驅(qū)動(dòng)電機(jī)相連；夾持手爪包括支撐塊和相對(duì)設(shè)于支撐塊上端面左右兩端的前夾持塊和后夾持塊，前夾持塊通過固定支撐柱與支撐塊相連，后夾持塊連接伸縮桿一端，伸縮桿另一端與設(shè)于支撐塊下部的氣缸相連，硅晶片被夾持在前后夾持塊間；拋光裝置還包括柜體內(nèi)依次設(shè)于下料水槽后方的下料清洗裝置、邊緣精拋裝置和邊緣粗拋裝置，所述邊緣粗拋裝置用于非V-Notch平邊部位的粗拋工作，所述邊緣精拋裝置用于非V-Notch平邊部位的邊緣精拋工作。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人浙江晶盛機(jī)電股份有限公司，其通訊地址為：312300 浙江省杭州市上虞區(qū)通江西路218號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。