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龍圖騰網(wǎng)恭喜中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所申請(qǐng)的專利一種測(cè)量高反射傾斜鏡遲滯效應(yīng)的方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN116046352B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-06發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202310121342.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01M11/02；該發(fā)明授權(quán)一種測(cè)量高反射傾斜鏡遲滯效應(yīng)的方法是由何星;田中州;楊康建;王帥;楊平設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-02-16向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種測(cè)量高反射傾斜鏡遲滯效應(yīng)的方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種測(cè)量高反射傾斜鏡遲滯效應(yīng)的方法，將待測(cè)高反射傾斜鏡作為衰蕩腔腔鏡，對(duì)傾斜鏡分別施加正向和方向驅(qū)動(dòng)，記錄該過程中的腔內(nèi)損耗變化，通過腔內(nèi)損耗變化規(guī)律可解算傾斜鏡驅(qū)動(dòng)過程中實(shí)際的角度傾斜量，從而完成傾斜鏡在正向和反向驅(qū)動(dòng)中的遲滯效應(yīng)測(cè)量。該方法基于光腔衰蕩技術(shù)的高靈敏度特性，通過構(gòu)建衰蕩腔腔內(nèi)損耗與腔鏡傾斜角度的數(shù)理關(guān)系，實(shí)現(xiàn)對(duì)高反射傾斜鏡遲滯效應(yīng)的高靈敏度測(cè)量，可作為高反射傾斜鏡相關(guān)性能測(cè)試的一種有效手段。

本發(fā)明授權(quán)一種測(cè)量高反射傾斜鏡遲滯效應(yīng)的方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種測(cè)量高反射傾斜鏡遲滯效應(yīng)的方法，其特征在于，實(shí)現(xiàn)步驟如下：步驟（1）、搭建光腔衰蕩系統(tǒng)，包括激光光源、耦合腔鏡、平凹腔鏡、光電探測(cè)器、待測(cè)高反射傾斜鏡、數(shù)據(jù)采集模塊和處理機(jī)，其中，平凹腔鏡、耦合腔鏡和待測(cè)高反射傾斜鏡構(gòu)成折疊型衰蕩腔，激光光源發(fā)出激光光束，經(jīng)耦合腔鏡進(jìn)入衰蕩腔內(nèi)，衰蕩腔內(nèi)光強(qiáng)信號(hào)經(jīng)平凹腔鏡透射進(jìn)入光電探測(cè)器，光電探測(cè)器探測(cè)的衰蕩腔透射信號(hào)交由數(shù)據(jù)采集模塊和處理機(jī)進(jìn)行處理；所述的激光光源為連續(xù)波激光器，其輸出中心波長(zhǎng)λ與高反射傾斜鏡在該波長(zhǎng)的反射率Rλ之間應(yīng)滿足Rλ≥99.8%；所述的平凹腔鏡的凹面曲率半徑ρ與衰蕩腔腔長(zhǎng)L應(yīng)滿足ρL；步驟（2）、向衰蕩腔內(nèi)注入激光光束，同時(shí)利用光電探測(cè)器和數(shù)據(jù)采集模塊實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并記錄衰蕩腔透射信號(hào)；步驟（3）、向待測(cè)傾斜鏡分別施加正向和反向驅(qū)動(dòng)，每施加一次驅(qū)動(dòng)，采集對(duì)應(yīng)的衰蕩腔透射信號(hào)并經(jīng)處理機(jī)處理得到腔內(nèi)損耗，根據(jù)腔內(nèi)損耗隨正向和反向驅(qū)動(dòng)的變化曲線即可完成遲滯效應(yīng)的測(cè)量。

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