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龍圖騰網(wǎng)恭喜浙江芯暉裝備技術(shù)有限公司申請的專利拋光頭清洗裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN111070098B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：201911404893.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B24B53/017；該發(fā)明授權(quán)拋光頭清洗裝置是由楊兆明;顏凱;中原司設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2019-12-31向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本拋光頭清洗裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明為一種拋光頭清洗裝置，包括，基板，能固定連接于機(jī)體上；毛刷結(jié)構(gòu)，包括基板上方能拆卸地設(shè)置的第一毛刷部和第二毛刷部，第一毛刷部和第二毛刷部能升降且能旋轉(zhuǎn)，第一毛刷部用于刷洗拋光頭的側(cè)面，第二毛刷部用于刷洗拋光頭的加工端面；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，包括第一旋轉(zhuǎn)部和第二旋轉(zhuǎn)部；升降結(jié)構(gòu)，連接于基板的底部且向下延伸設(shè)置，升降結(jié)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)毛刷結(jié)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)沿豎直方向升降；噴水結(jié)構(gòu)，用于噴水沖洗拋光頭；控制部，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、升降結(jié)構(gòu)和噴水結(jié)構(gòu)均與控制部電連接。該裝置可以有效清洗拋光頭，防止在吸取硅片的時(shí)候拋光頭上有異物對硅片造成劃傷或者異物掉落在硅片上，保證硅片的性能。

本發(fā)明授權(quán)拋光頭清洗裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種拋光頭清洗裝置，其特征在于，包括，基板，能固定連接于機(jī)體上；毛刷結(jié)構(gòu)，包括基板上方平行間隔且能拆卸地設(shè)置的第一毛刷部和第二毛刷部，所述第一毛刷部和第二毛刷部能升降且能旋轉(zhuǎn)，所述第一毛刷部用于刷洗拋光頭的側(cè)面，所述第二毛刷部用于刷洗拋光頭的加工端面；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，包括能分別驅(qū)動(dòng)所述第一毛刷部和第二毛刷部旋轉(zhuǎn)的第一旋轉(zhuǎn)部和第二旋轉(zhuǎn)部；升降結(jié)構(gòu)，連接于所述基板的底部且向下延伸設(shè)置，所述升降結(jié)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述毛刷結(jié)構(gòu)和所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)沿豎直方向升降；噴水結(jié)構(gòu)，用于噴水沖洗拋光頭；控制部，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、所述升降結(jié)構(gòu)和所述噴水結(jié)構(gòu)均與所述控制部電連接；所述毛刷結(jié)構(gòu)包括一個(gè)所述第一毛刷部和兩個(gè)所述第二毛刷部，所述第一毛刷部設(shè)置于兩個(gè)所述第二毛刷部之間，所述毛刷結(jié)構(gòu)能同時(shí)清洗兩個(gè)拋光頭；所述第一旋轉(zhuǎn)部包括穿過所述基板設(shè)置的第一旋轉(zhuǎn)軸，所述第一毛刷部能拆卸地連接于第一旋轉(zhuǎn)軸的頂端，所述第一旋轉(zhuǎn)軸位于所述基板下方的一端連接設(shè)置第一伺服馬達(dá)，所述第一伺服馬達(dá)用于驅(qū)動(dòng)所述第一旋轉(zhuǎn)軸和所述第一毛刷部周向旋轉(zhuǎn)，所述第一旋轉(zhuǎn)軸的底端設(shè)置第一同步帶輪，所述第一伺服馬達(dá)的輸出端設(shè)置第二同步帶輪，所述第一同步帶輪和所述第二同步帶輪上套設(shè)第一同步帶；所述第一伺服馬達(dá)架設(shè)于第一馬達(dá)基座上，所述升降結(jié)構(gòu)包括能驅(qū)動(dòng)所述第一馬達(dá)基座、所述第一伺服馬達(dá)、所述第一旋轉(zhuǎn)軸和所述第一毛刷部升降的第一氣缸；所述第二旋轉(zhuǎn)部包括穿過所述基板設(shè)置的第二旋轉(zhuǎn)軸，所述第二毛刷部能拆卸地連接于第二旋轉(zhuǎn)軸的頂端，所述第二旋轉(zhuǎn)軸位于所述基板下方的一端連接設(shè)置第二伺服馬達(dá)，所述第二伺服馬達(dá)用于驅(qū)動(dòng)所述第二旋轉(zhuǎn)軸和所述第二毛刷部周向旋轉(zhuǎn)，所述第二旋轉(zhuǎn)軸的底端設(shè)置第三同步帶輪，所述第二伺服馬達(dá)的輸出端設(shè)置第四同步帶輪，所述第三同步帶輪和所述第四同步帶輪上套設(shè)第二同步帶；所述第二伺服馬達(dá)架設(shè)于第二馬達(dá)基座上，所述升降結(jié)構(gòu)包括能驅(qū)動(dòng)所述第二馬達(dá)基座、所述第二伺服馬達(dá)、所述第二旋轉(zhuǎn)軸和所述第二毛刷部升降的第二氣缸；所述第一伺服馬達(dá)、所述第一氣缸、所述第二伺服馬達(dá)和所述第二氣缸均與所述控制部電連接；所述第一氣缸包括固定連接于基板底部且向下延伸設(shè)置的第一缸筒，所述第一缸筒的下端密封滑動(dòng)穿設(shè)第一缸桿，所述第一缸桿的下端連接第一氣缸基座的底部，所述第一氣缸基座頂部設(shè)置所述第一馬達(dá)基座；所述第一氣缸基座的頂部上方設(shè)置第一機(jī)殼基座，所述第一旋轉(zhuǎn)軸的底端轉(zhuǎn)動(dòng)穿過所述第一機(jī)殼基座；所述第二氣缸包括固定連接于基板底部且向下延伸設(shè)置的第二缸筒，所述第二缸筒的下端密封滑動(dòng)穿設(shè)第二缸桿，所述第二缸桿的下端連接第二氣缸基座的底部，所述第二氣缸基座頂部設(shè)置所述第二馬達(dá)基座；所述第二氣缸基座的頂部上方設(shè)置第二機(jī)殼基座，所述第二旋轉(zhuǎn)軸的底端轉(zhuǎn)動(dòng)穿過所述第二機(jī)殼基座；所述第一毛刷部包括能拆卸地連接于所述第一旋轉(zhuǎn)軸的頂端的第一毛刷盤，所述第一毛刷盤的側(cè)壁上沿水平方向設(shè)置刷毛。

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