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龍圖騰網恭喜浙江芯暉裝備技術有限公司申請的專利拋光頭清洗裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111070098B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201911404893.5，技術領域涉及：B24B53/017；該發明授權拋光頭清洗裝置是由楊兆明;顏凱;中原司設計研發完成，并于2019-12-31向國家知識產權局提交的專利申請。

本拋光頭清洗裝置在說明書摘要公布了：本發明為一種拋光頭清洗裝置，包括，基板，能固定連接于機體上；毛刷結構，包括基板上方能拆卸地設置的第一毛刷部和第二毛刷部，第一毛刷部和第二毛刷部能升降且能旋轉，第一毛刷部用于刷洗拋光頭的側面，第二毛刷部用于刷洗拋光頭的加工端面；旋轉驅動結構，包括第一旋轉部和第二旋轉部；升降結構，連接于基板的底部且向下延伸設置，升降結構用于驅動毛刷結構和旋轉驅動結構沿豎直方向升降；噴水結構，用于噴水沖洗拋光頭；控制部，旋轉驅動結構、升降結構和噴水結構均與控制部電連接。該裝置可以有效清洗拋光頭，防止在吸取硅片的時候拋光頭上有異物對硅片造成劃傷或者異物掉落在硅片上，保證硅片的性能。

本發明授權拋光頭清洗裝置在權利要求書中公布了：1.一種拋光頭清洗裝置，其特征在于，包括，基板，能固定連接于機體上；毛刷結構，包括基板上方平行間隔且能拆卸地設置的第一毛刷部和第二毛刷部，所述第一毛刷部和第二毛刷部能升降且能旋轉，所述第一毛刷部用于刷洗拋光頭的側面，所述第二毛刷部用于刷洗拋光頭的加工端面；旋轉驅動結構，包括能分別驅動所述第一毛刷部和第二毛刷部旋轉的第一旋轉部和第二旋轉部；升降結構，連接于所述基板的底部且向下延伸設置，所述升降結構用于驅動所述毛刷結構和所述旋轉驅動結構沿豎直方向升降；噴水結構，用于噴水沖洗拋光頭；控制部，所述旋轉驅動結構、所述升降結構和所述噴水結構均與所述控制部電連接；所述毛刷結構包括一個所述第一毛刷部和兩個所述第二毛刷部，所述第一毛刷部設置于兩個所述第二毛刷部之間，所述毛刷結構能同時清洗兩個拋光頭；所述第一旋轉部包括穿過所述基板設置的第一旋轉軸，所述第一毛刷部能拆卸地連接于第一旋轉軸的頂端，所述第一旋轉軸位于所述基板下方的一端連接設置第一伺服馬達，所述第一伺服馬達用于驅動所述第一旋轉軸和所述第一毛刷部周向旋轉，所述第一旋轉軸的底端設置第一同步帶輪，所述第一伺服馬達的輸出端設置第二同步帶輪，所述第一同步帶輪和所述第二同步帶輪上套設第一同步帶；所述第一伺服馬達架設于第一馬達基座上，所述升降結構包括能驅動所述第一馬達基座、所述第一伺服馬達、所述第一旋轉軸和所述第一毛刷部升降的第一氣缸；所述第二旋轉部包括穿過所述基板設置的第二旋轉軸，所述第二毛刷部能拆卸地連接于第二旋轉軸的頂端，所述第二旋轉軸位于所述基板下方的一端連接設置第二伺服馬達，所述第二伺服馬達用于驅動所述第二旋轉軸和所述第二毛刷部周向旋轉，所述第二旋轉軸的底端設置第三同步帶輪，所述第二伺服馬達的輸出端設置第四同步帶輪，所述第三同步帶輪和所述第四同步帶輪上套設第二同步帶；所述第二伺服馬達架設于第二馬達基座上，所述升降結構包括能驅動所述第二馬達基座、所述第二伺服馬達、所述第二旋轉軸和所述第二毛刷部升降的第二氣缸；所述第一伺服馬達、所述第一氣缸、所述第二伺服馬達和所述第二氣缸均與所述控制部電連接；所述第一氣缸包括固定連接于基板底部且向下延伸設置的第一缸筒，所述第一缸筒的下端密封滑動穿設第一缸桿，所述第一缸桿的下端連接第一氣缸基座的底部，所述第一氣缸基座頂部設置所述第一馬達基座；所述第一氣缸基座的頂部上方設置第一機殼基座，所述第一旋轉軸的底端轉動穿過所述第一機殼基座；所述第二氣缸包括固定連接于基板底部且向下延伸設置的第二缸筒，所述第二缸筒的下端密封滑動穿設第二缸桿，所述第二缸桿的下端連接第二氣缸基座的底部，所述第二氣缸基座頂部設置所述第二馬達基座；所述第二氣缸基座的頂部上方設置第二機殼基座，所述第二旋轉軸的底端轉動穿過所述第二機殼基座；所述第一毛刷部包括能拆卸地連接于所述第一旋轉軸的頂端的第一毛刷盤，所述第一毛刷盤的側壁上沿水平方向設置刷毛。

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