恭喜ASMIP私人控股有限公司金成培獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜ASMIP私人控股有限公司申請的專利包括分析排出氣體的使用氣相反應器系統的方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN117405320B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202311160500.7,技術領域涉及:G01M3/26;該發明授權包括分析排出氣體的使用氣相反應器系統的方法是由金成培;權學龍;金英民;金基康;李承桓設計研發完成,并于2020-06-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本包括分析排出氣體的使用氣相反應器系統的方法在說明書摘要公布了:本發明公開了用于進行氣相反應器系統的泄漏檢查的方法和系統。示例性系統包括:第一排氣系統,所述第一排氣系統經由第一排氣管線聯接到反應腔室;旁路管線,所述旁路管線聯接到氣體供應單元且聯接到第一排氣系統;氣體檢測器,所述氣體檢測器經由連接管線聯接到旁路管線;連接管線閥,所述連接管線閥聯接到連接管線;以及第二排氣系統,所述第二排氣系統聯接到連接管線。方法包括使用第二排氣系統來使連接管線排氣,從而去除原本可能會影響氣體檢測器的準確度的連接管線中的殘余氣體。
本發明授權包括分析排出氣體的使用氣相反應器系統的方法在權利要求書中公布了:1.一種使用氣相反應器系統的方法,所述方法包括以下步驟:提供氣相反應器系統,所述氣相反應器系統包括:反應腔室;氣體供應單元,所述氣體供應單元經由氣體供應管線聯接到所述反應腔室;第一排氣系統,所述第一排氣系統經由第一排氣管線聯接到所述反應腔室;旁路管線,所述旁路管線聯接到所述氣體供應單元和所述第一排氣系統;氣體檢測器,所述氣體檢測器經由連接管線聯接到所述旁路管線;連接管線閥,所述連接管線閥聯接到所述連接管線;以及第二排氣系統,所述第二排氣系統聯接到所述連接管線;使所述連接管線排氣;使用所述氣體檢測器,分析從所述氣相反應器系統排出的氣體。
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