買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網恭喜紫光同芯微電子有限公司申請的專利一種晶圓組芯片潛在失效篩選方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114678284B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011552255.0，技術領域涉及：H01L21/66；該發明授權一種晶圓組芯片潛在失效篩選方法是由歐陽睿;許秋林;肖金磊;陳凝設計研發完成，并于2020-12-24向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓組芯片潛在失效篩選方法在說明書摘要公布了：本發明提供了一種晶圓組芯片潛在失效篩選方法，針對晶圓組N片晶圓所有芯片，使用ASCII編碼字符標記有效芯片和失效芯片，為晶圓組N片晶圓中每個芯片創建芯片坐標，匯總全部芯片坐標，統計晶圓組同一橫向坐標下失效芯片數與晶圓組晶圓片數量N的百分比，實現對晶圓組N片晶圓下具有集中失效芯片趨勢特征區域的轉置處理，提高識別失效芯片的效率和整體芯片產品的可靠性。

本發明授權一種晶圓組芯片潛在失效篩選方法在權利要求書中公布了：1.一種晶圓組芯片潛在失效篩選方法，其特征在于，所述篩選方法包括如下具體步驟：第一步：晶圓組由N片晶圓組成，其中，N≥2，使用ASCII編碼字符定義有效芯片、缺省芯片和失效芯片所代表的Map文本文件，并定義Map文本文件后綴；第二步：使用自定義Map工具軟件定義晶圓Map坐標系、晶圓組晶圓測試探針Map數據、第一晶圓組測試Map文本文件和第二晶圓組測試Map文本文件，并設置晶圓組測試探針Map數據目錄項、第一晶圓組測試Map文本文件目錄項和第二晶圓組測試Map文本文件目錄項；第三步：啟動ATE儀收集晶圓組晶圓測試探針Map數據，將該晶圓組晶圓測試探針Map數據存放在晶圓組測試探針Map數據目錄項中；第四步：使用自定義Map工具軟件選定晶圓組測試探針Map數據目錄項，由Map工具軟件對晶圓組測試探針Map數據進行逐一識別，轉置輸出為第一晶圓組測試Map文本文件，存放在第一晶圓組測試Map文本文件目錄項中；第五步：選定第一晶圓組測試Map文本文件目錄項，由Map工具軟件調用晶圓組統計算法逐一讀取第一晶圓組測試Map文本文件目錄項中Map文本文件，使用ASCII編碼字符標記晶圓組N片晶圓所有芯片中的有效芯片和失效芯片，以晶圓MAP坐標系坐標原點0，0為起始點，以晶圓MAP芯片所在位置的行數和列數為坐標參數，為晶圓組N片晶圓中每個芯片創建芯片坐標，匯總全部芯片坐標，統計晶圓組晶圓同一橫向芯片坐標的失效芯片數量與晶圓組晶圓片數量N的百分比值，并將百分比值與設定閾值進行逐個比較，如該芯片坐標的百分比值大于設定閾值，將該芯片坐標記錄在異常失效坐標集{Q}中；第六步：重新使用Map工具軟件逐一讀取第五步修正后的第一晶圓組測試Map文本文件，獲取晶圓組N片晶圓所有芯片中的有效芯片標記字符和失效芯片標記字符，讀取異常失效坐標集{Q}中的有效芯片標記字符，并將該有效芯片標記字符修改為失效芯片標記字符；第七步：使用Map工具軟件將上述第六步修正后的第一晶圓組測試Map文本文件轉置輸出為第二晶圓組測試Map文本文件，并存放在第二晶圓組測試Map文本文件目錄項中，第二晶圓組測試Map文本文件用于晶圓測試的后道封裝。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人紫光同芯微電子有限公司，其通訊地址為：100083 北京市海淀區五道口王莊路1號同方科技廣場D座西樓6層；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。