四川伽銳科技有限公司鄭余獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉四川伽銳科技有限公司申請的專利一種密封脫鈷工裝、方法、試劑及聚晶金剛石復合片獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115768925B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202180041614.2,技術領域涉及:C23F1/08;該發明授權一種密封脫鈷工裝、方法、試劑及聚晶金剛石復合片是由鄭余;劉念;曹麗娟;黎維明設計研發完成,并于2021-12-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種密封脫鈷工裝、方法、試劑及聚晶金剛石復合片在說明書摘要公布了:本申請公開了一種密封脫鈷工裝、方法、試劑及聚晶金剛石復合片,工裝包括密封套、夾持機構和壓緊機構,密封套用于套設在工件外壁,夾持機構套設在密封套外壁,夾持機構用于對密封套提供第一壓力,壓緊機構設置于密封套頂部,壓緊機構用于對密封套提供第二壓力,壓緊機構內部開設有用于盛裝化學試劑的內腔,工件頂部可伸入內腔內,本申請具有可提高工裝整體使用壽命、提高化學試劑反應速度、脫鈷深度可達1200um以上、滿足對工件進行超深脫需求的優點。
本發明授權一種密封脫鈷工裝、方法、試劑及聚晶金剛石復合片在權利要求書中公布了:1.一種密封脫鈷工裝,其特征在于,包括:密封套,所述密封套用于套設在工件外壁;夾持機構,所述夾持機構套設在所述密封套外壁,所述夾持機構用于對所述密封套提供第一壓力;所述夾持機構包括至少兩組可拆卸連接的夾持塊,所述夾持塊內壁開設有夾持槽,所述密封套和所述工件均位于所述夾持槽之間;所述密封套包括用于容納所述工件的套筒,所述套筒頂部設置有往外延伸的第一凸臺,所述夾持槽包括與所述套筒外壁接觸的第一弧形槽,所述第一弧形槽頂部設置有與所述第一凸臺配合的第一臺階槽壓緊機構,所述壓緊機構設置于所述密封套頂部,所述壓緊機構用于對所述密封套提供第二壓力,所述壓緊機構內部開設有用于盛裝化學試劑的內腔,所述工件頂部可伸入所述內腔內;所述壓緊機構包括承裝塊,所述內腔開設在所述承裝塊內部,所述承裝塊頂部設置有用于密封所述內腔的密封墊;所述脫鈷工裝還包括封裝機構,所述封裝機構包括底座,所述底座外壁套設有中空的壓緊塊,所述壓緊機構同時位于所述底座和所述壓緊塊的內部,所述壓緊塊外壁套設有封裝蓋,所述封裝蓋壓緊在所述壓緊機構的頂部;所述密封套和所述密封墊的材料的熱膨脹系數大于所述底座、所述承裝塊以及所述封裝蓋的材料中最大熱膨脹系數的三倍。
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