恭喜哈爾濱工業大學李興冀獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜哈爾濱工業大學申請的專利基于器件輻射缺陷演化全過程的跨尺度仿真方法及系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115186463B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210762700.9,技術領域涉及:G06F30/20;該發明授權基于器件輻射缺陷演化全過程的跨尺度仿真方法及系統是由李興冀;張英濤;劉研;楊劍群;徐曉東設計研發完成,并于2022-06-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于器件輻射缺陷演化全過程的跨尺度仿真方法及系統在說明書摘要公布了:本發明提供了一種基于器件輻射缺陷演化全過程的跨尺度仿真方法和系統,所述方法包括:定義粒子參數和材料參數,并將其輸入模擬系統;根據分子動力學基本原理,建立基于空間入射粒子的分子動力學模型,進行基于分子動力學的空間入射粒子的運動數值模擬,并獲取不同時刻空間入射粒子的運動軌跡、速度、能量和在空間器件中的分布信息;采用統計物理學方法統計不同狀態下空間入射粒子的運動規律,將空間入射粒子的微觀狀態和材料的宏觀性質相關聯,進行跨尺度計算仿真。本發明以單個入射粒子和材料參數為研究對象,對入射粒子在空間器件中產生的跨尺度缺陷演化效應進行模擬仿真,為半導體器件的材料選取提供重要依據和思路。
本發明授權基于器件輻射缺陷演化全過程的跨尺度仿真方法及系統在權利要求書中公布了:1.一種基于器件輻射缺陷演化全過程的跨尺度仿真方法,其特征在于,包括:從粒子數據庫中調用不同類型的空間入射粒子,并將所述空間入射粒子的參數輸入模擬系統,進行初始化;并從器件材料數據庫中調用不同類型的材料,并將與所述材料類型對應的模擬盒子的參數輸入所述模擬系統;根據分子動力學基本原理,建立基于所述空間入射粒子的分子動力學模型,進行基于分子動力學的所述空間入射粒子的運動數值模擬,并獲取不同時刻所述空間入射粒子的運動軌跡、速度、能量和在空間器件中的分布信息;采用統計物理學方法統計不同狀態下所述空間入射粒子的運動規律,將所述空間入射粒子的微觀狀態和所述材料的宏觀性質相關聯,進行跨尺度計算仿真;所述跨尺度計算仿真包括:采用OKMC方法模擬所述空間入射粒子的短時間低物理損傷程度演化,使所示空間入射粒子隨機或在指定晶格上進行跳變以模擬缺陷在所述空間器件中的形成;采用等價球法識別產生缺陷所對應的所述空間入射粒子;采用團簇動力學方法進行所述空間入射粒子的高物理損傷程度演化。
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