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龍圖騰網(wǎng)恭喜上海精測半導(dǎo)體技術(shù)有限公司申請(qǐng)的專利光斑調(diào)節(jié)方法及膜厚量測方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115289985B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210957287.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B11/06；該發(fā)明授權(quán)光斑調(diào)節(jié)方法及膜厚量測方法是由陳煜杰;董詩浩;李仲禹設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-08-10向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本光斑調(diào)節(jié)方法及膜厚量測方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種光斑調(diào)節(jié)方法及膜厚量測方法。該光斑調(diào)節(jié)方法通過成像系統(tǒng)獲取激發(fā)光光斑和探測光光斑的圖像，基于圖像計(jì)算激發(fā)光光斑質(zhì)心和探測光光斑質(zhì)心之間的相對(duì)位置，根據(jù)成像系統(tǒng)獲取的相對(duì)位置對(duì)探測光路及\或激發(fā)光路的偏擺鏡的姿態(tài)進(jìn)行第一調(diào)節(jié)，并通過理論極大值LIAmax對(duì)探測光路及\或激發(fā)光路的偏擺鏡的姿態(tài)進(jìn)行第一調(diào)節(jié)，使得激發(fā)光光斑質(zhì)心和探測光光斑質(zhì)心重合，可以獲得最大強(qiáng)度的信號(hào)。將此應(yīng)用于光聲測量系統(tǒng)中，通過精確調(diào)整探測光光斑和激發(fā)光光斑的相對(duì)位置，使得探測光的反射率提升，能夠準(zhǔn)確的獲取聲波連續(xù)兩次回傳至樣品表面時(shí)的時(shí)間間隔，提高探測精度和探測穩(wěn)定性，提升膜厚計(jì)算的準(zhǔn)確度。

本發(fā)明授權(quán)光斑調(diào)節(jié)方法及膜厚量測方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種光斑調(diào)節(jié)方法，其特征在于，包括：基于光源模塊生成激發(fā)光和探測光，所述激發(fā)光用于在待測樣品中產(chǎn)生聲波，所述聲波經(jīng)所述待測樣品中的界面回傳至所述待測樣品表面，待測樣品表面形成形變區(qū)域，所述探測光照射至所述形變區(qū)域形成強(qiáng)度變化的反射信號(hào)光；通過成像系統(tǒng)獲取所述激發(fā)光和所述探測光在所述待測樣品表面分別形成的激發(fā)光光斑和探測光光斑的圖像，基于所述圖像獲取所述激發(fā)光光斑質(zhì)心的位置和所述探測光光斑質(zhì)心之間的距離；通過獲取的所述距離對(duì)位于探測光路及\或激發(fā)光路的偏擺鏡的姿態(tài)進(jìn)行第一調(diào)節(jié)，以使所述激發(fā)光光斑質(zhì)心的位置和所述探測光光斑質(zhì)心之間的距離小于預(yù)設(shè)閾值；獲取所述信號(hào)光光強(qiáng)的理論極大值，并依據(jù)所述理論極大值對(duì)所述探測光路及\或激發(fā)光路的偏擺鏡的姿態(tài)進(jìn)行第二調(diào)節(jié)，使得所述激發(fā)光光斑質(zhì)心和所述探測光光斑質(zhì)心重合。

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