恭喜無(wú)錫誠(chéng)承電子科技有限公司方明江獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜無(wú)錫誠(chéng)承電子科技有限公司申請(qǐng)的專利一種半導(dǎo)體離子注入機(jī)晶片精準(zhǔn)定位設(shè)備獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN118983253B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-18發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202411052991.8,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/68;該發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體離子注入機(jī)晶片精準(zhǔn)定位設(shè)備是由方明江;蔡成振設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2024-08-02向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本一種半導(dǎo)體離子注入機(jī)晶片精準(zhǔn)定位設(shè)備在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體離子注入機(jī)晶片精準(zhǔn)定位設(shè)備,包括注入機(jī)機(jī)體、支撐架、夾持機(jī)構(gòu)、上料機(jī)構(gòu)以及輸送機(jī)構(gòu),其中,所述支撐架固定設(shè)置在所述注入機(jī)機(jī)體的一側(cè),所述支撐架上開設(shè)有滑軌,所述夾持機(jī)構(gòu)滑動(dòng)設(shè)置在所述滑軌中,所述上料機(jī)構(gòu)滑動(dòng)設(shè)置在所述夾持機(jī)構(gòu)上方,所述輸送機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述夾持機(jī)構(gòu)的兩側(cè)用于輸送晶片,所述夾持機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)盤一、轉(zhuǎn)盤二、支撐座以及轉(zhuǎn)軸,其中,所述轉(zhuǎn)盤一滑動(dòng)設(shè)置在所述支撐架上,所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述轉(zhuǎn)盤一上,所述轉(zhuǎn)盤一上固定設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)一,所述轉(zhuǎn)盤二轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸上,所述支撐座與所述轉(zhuǎn)軸固定連接,所述轉(zhuǎn)盤二上呈環(huán)形設(shè)置有多個(gè)用于支撐晶片的伸縮桿一。
本發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體離子注入機(jī)晶片精準(zhǔn)定位設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了:1.一種半導(dǎo)體離子注入機(jī)晶片精準(zhǔn)定位設(shè)備,其特征在于:包括注入機(jī)機(jī)體1、支撐架2、夾持機(jī)構(gòu)3、上料機(jī)構(gòu)4以及輸送機(jī)構(gòu)5,其中,所述支撐架2固定設(shè)置在所述注入機(jī)機(jī)體1的一側(cè),所述支撐架2上開設(shè)有滑軌21,所述夾持機(jī)構(gòu)3滑動(dòng)設(shè)置在所述滑軌21中,所述上料機(jī)構(gòu)4滑動(dòng)設(shè)置在所述夾持機(jī)構(gòu)3上方,所述輸送機(jī)構(gòu)5設(shè)置在所述夾持機(jī)構(gòu)3的兩側(cè)用于輸送晶片;所述夾持機(jī)構(gòu)3包括自下而上設(shè)置的轉(zhuǎn)盤一31、轉(zhuǎn)盤二32、支撐座33,所述轉(zhuǎn)盤二32、支撐座33同軸設(shè)置,其中,所述轉(zhuǎn)盤一31滑動(dòng)設(shè)置在所述支撐架2上,所述轉(zhuǎn)盤一31上轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有轉(zhuǎn)軸34,所述轉(zhuǎn)盤一31上固定設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)軸34轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)一,所述轉(zhuǎn)盤二32轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸34上,所述支撐座33與所述轉(zhuǎn)軸34固定連接,所述轉(zhuǎn)盤二32上呈環(huán)形設(shè)置有多個(gè)用于支撐晶片的伸縮桿一35,所述伸縮桿一35的輸出端包裹有緩沖墊;所述支撐架2底部固定設(shè)置有支板22,所述支板22上開設(shè)有滑槽;所述轉(zhuǎn)盤一31底部固定連接有傳動(dòng)軸311,所述傳動(dòng)軸311上轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有傳動(dòng)環(huán),所述傳動(dòng)環(huán)上固定設(shè)置有滑板312,所述滑板312卡入所述滑槽中并沿所述滑槽滑動(dòng);所述傳動(dòng)軸311的輸出端設(shè)置有驅(qū)動(dòng)環(huán)313,所述驅(qū)動(dòng)環(huán)313內(nèi)部設(shè)置有齒圈一;所述滑板312上滑動(dòng)設(shè)置有電機(jī)二,所述電機(jī)二與所述滑板312之間設(shè)置有伸縮桿二,所述電機(jī)二的輸出端設(shè)置有齒輪一314;所述支板22上固定設(shè)置有齒條221,所述齒輪一314通過所述電機(jī)二的滑動(dòng)與所述齒圈一或齒條221嚙合;所述支撐座33上呈圓周開設(shè)有多個(gè)直槽331,所述直槽331中滑動(dòng)設(shè)置有卡塊36,所述卡塊36底部固定設(shè)置有卡桿361;所述轉(zhuǎn)盤二32上開設(shè)有多個(gè)弧形槽321,所述卡桿361穿過所述直槽331卡入所述弧形槽321中并沿所述弧形槽321滑動(dòng);所述卡塊36頂部滑動(dòng)設(shè)置有凸塊362,所述凸塊362與所述卡塊36之間設(shè)置有彈簧。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人無(wú)錫誠(chéng)承電子科技有限公司,其通訊地址為:214112 江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)碩放街道環(huán)普路9號(hào)4號(hào)廠房;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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