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龍圖騰網(wǎng)恭喜蘇州芯輪半導(dǎo)體科技有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利一種雙臂式晶圓位置矯正設(shè)備獲國(guó)家實(shí)用新型專(zhuān)利權(quán)，本實(shí)用新型專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN222775294U 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-18發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202422112942.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/68；該實(shí)用新型一種雙臂式晶圓位置矯正設(shè)備是由張磊;朱偉明設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-08-29向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本一種雙臂式晶圓位置矯正設(shè)備在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本實(shí)用新型公開(kāi)了一種雙臂式晶圓位置矯正設(shè)備，包括安裝平臺(tái)，所述安裝平臺(tái)上設(shè)置有機(jī)械矯正模組和多軸機(jī)構(gòu)，所述機(jī)械矯正模組包括兩個(gè)對(duì)稱(chēng)設(shè)置的導(dǎo)軌氣缸，所述導(dǎo)軌氣缸的滑塊上設(shè)置有弧形定位板，兩個(gè)導(dǎo)軌氣缸之間的中部設(shè)置有柱狀吸盤(pán)，所述柱狀吸盤(pán)用于吸附固定晶圓，兩個(gè)導(dǎo)軌氣缸上的弧形定位板配合矯正晶圓在柱狀吸盤(pán)上的位置，所述多軸機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)并列且平行設(shè)置的電動(dòng)滑臺(tái)，兩個(gè)電動(dòng)滑臺(tái)設(shè)置在旋轉(zhuǎn)組件上，所述旋轉(zhuǎn)組件底部設(shè)置有升降組件，所述電動(dòng)滑臺(tái)的滑臺(tái)上設(shè)置有側(cè)向懸臂，所述側(cè)向懸臂上設(shè)置有真空指板，兩個(gè)電動(dòng)滑臺(tái)上的真空指板重疊設(shè)置。本實(shí)用新型制備成本低，占用空間小，具有較高的使用效率。

本實(shí)用新型一種雙臂式晶圓位置矯正設(shè)備在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種雙臂式晶圓位置矯正設(shè)備，其特征在于，包括安裝平臺(tái)，所述安裝平臺(tái)上設(shè)置有機(jī)械矯正模組和多軸機(jī)構(gòu)，所述機(jī)械矯正模組包括兩個(gè)對(duì)稱(chēng)設(shè)置的導(dǎo)軌氣缸，所述導(dǎo)軌氣缸的滑塊上設(shè)置有弧形定位板，兩個(gè)導(dǎo)軌氣缸之間的中部設(shè)置有柱狀吸盤(pán)，所述柱狀吸盤(pán)用于吸附固定晶圓，兩個(gè)導(dǎo)軌氣缸上的弧形定位板配合矯正晶圓在柱狀吸盤(pán)上的位置，所述多軸機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)并列且平行設(shè)置的電動(dòng)滑臺(tái)，兩個(gè)電動(dòng)滑臺(tái)設(shè)置在旋轉(zhuǎn)組件上，所述旋轉(zhuǎn)組件底部設(shè)置有升降組件，所述電動(dòng)滑臺(tái)的滑臺(tái)上設(shè)置有側(cè)向懸臂，所述側(cè)向懸臂上設(shè)置有真空指板，兩個(gè)電動(dòng)滑臺(tái)上的真空指板重疊設(shè)置。

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