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龍圖騰網恭喜廈門銀科啟瑞半導體科技有限公司申請的專利一種晶圓減薄裝置及其減薄方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119526617B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-18發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510091290.3，技術領域涉及：B28D5/02；該發明授權一種晶圓減薄裝置及其減薄方法是由張銀橋;請求不公布姓名;請求不公布姓名;請求不公布姓名;請求不公布姓名;請求不公布姓名設計研發完成，并于2025-01-21向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓減薄裝置及其減薄方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種晶圓減薄裝置及其減薄方法，涉及晶圓減薄技術領域，包括第一電動轉臺、第二電動轉臺、真空吸盤座和承載塊，承載塊的底面對稱安裝有電動伸縮桿，電動伸縮桿的輸出軸與第一電動轉臺固定連接，還包括兩個承載塊之間設置有第一安置箱和第二安置箱，第一安置箱的內部呈環形陣列設置有銑刀，第二安置箱的內部呈環形陣列設置有磨削塊，第一安置箱的兩側對稱設置有調節柱，調節柱的上方均設置有夾持塊，第一安置箱和第二安置箱的表面均設置有定位塊。本發明可以通過使銑刀和磨削塊保持同步移動，使得銑刀與磨削塊在切換后可以直接進行晶圓減薄工作，無需再次進行對中調節。

本發明授權一種晶圓減薄裝置及其減薄方法在權利要求書中公布了：1.一種晶圓減薄裝置，包括第一電動轉臺，所述第一電動轉臺的表面呈環形陣列安裝有第二電動轉臺，所述第二電動轉臺的內部均安裝有真空吸盤座，所述第一電動轉臺的上方對稱設置有承載塊，所述承載塊的底面對稱安裝有電動伸縮桿，所述電動伸縮桿的輸出軸與所述第一電動轉臺固定連接，其特征在于，還包括：兩個所述承載塊之間設置有第一安置箱和第二安置箱，所述第一安置箱的內部呈環形陣列設置有銑刀，所述第二安置箱的內部呈環形陣列設置有磨削塊，用于同步調節銑刀和磨削塊的磨削半徑；所述第一安置箱的兩側對稱設置有調節柱，通過使所述調節柱轉動來切換所述銑刀和所述磨削塊，所述調節柱的上方均設置有夾持塊，所述第一安置箱和所述第二安置箱的表面均設置有定位塊，通過所述夾持塊將對應的所述定位塊夾持，以保持所述第一安置箱和所述第二安置箱的豎直狀態，同時對位于上方的所述第一安置箱或所述第二安置箱進行夾持，以保持未處于工作狀態的所述磨削塊或所述銑刀處于靜止狀態；所述第一安置箱的內部底面呈環形陣列開設有調節槽，所述銑刀分別位于對應所述調節槽的內部，所述第一安置箱的上表面開設的第一安裝槽內呈環形陣列安裝有第一滑軌，所述第一滑軌的內部滑動連接有滑臺，所述滑臺的底面安裝有第三電機，所述第三電機輸出軸的端部安裝有夾持頭，所述銑刀被夾持在所述夾持頭的內部。

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