買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費！專利年費監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)恭喜廈門銀科啟瑞半導(dǎo)體科技有限公司申請的專利一種晶圓清洗設(shè)備及其清洗方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119608675B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-18發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510159062.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B08B3/10；該發(fā)明授權(quán)一種晶圓清洗設(shè)備及其清洗方法是由張銀橋;王建紅;請求不公布姓名;請求不公布姓名;請求不公布姓名;請求不公布姓名;請求不公布姓名;請求不公布姓名;請求不公布姓名設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-02-13向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種晶圓清洗設(shè)備及其清洗方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種晶圓清洗設(shè)備及其清洗方法，屬于晶圓清洗領(lǐng)域，其包括操作臺，其上具有一安裝平面，在其所具有的安裝平面上可移除的布設(shè)有一清洗箱。本發(fā)明的晶圓清洗設(shè)備及其清洗方法，通過布設(shè)的驅(qū)動構(gòu)件，工作人員在將驅(qū)動軸穿入至外置軸座內(nèi)后，即可使得驅(qū)動構(gòu)件與入料件之間形成可拆分整體，通過開啟第二驅(qū)動電機的開關(guān)，以使得驅(qū)動軸轉(zhuǎn)動，能夠帶動入料件進行旋轉(zhuǎn)，以使得入料件能夠帶動多組晶圓在清洗箱內(nèi)進行清洗作業(yè)，與此同時，能夠驅(qū)動第一錐齒輪及第二錐齒輪轉(zhuǎn)動，以驅(qū)動凸輪進行轉(zhuǎn)動，在此過程中，能夠通過布設(shè)的配重桿套以使得延伸桿在轉(zhuǎn)動時進行配重。

本發(fā)明授權(quán)一種晶圓清洗設(shè)備及其清洗方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓清洗設(shè)備，其特征在于，其包括操作臺（1），其上具有一安裝平面，在其所具有的安裝平面上可移除的布設(shè)有一清洗箱（11）；加熱構(gòu)件（12），其可拆卸的布設(shè)于該安裝平面上，其能夠?qū)⒃摬僮髋_（1）罩住；調(diào)節(jié)構(gòu)件（2），其可拆卸的布設(shè)于該安裝平面上，其能夠?qū)⒃摬僮髋_（1）包圍；入料推送構(gòu)件（3），其可拆卸的安裝于該調(diào)節(jié)構(gòu)件（2）上；驅(qū)動構(gòu)件（4），其可拆卸的安裝于該調(diào)節(jié)構(gòu)件（2）上，該驅(qū)動構(gòu)件（4）能夠穿入至該清洗箱（11）內(nèi)；第一隨動晃動構(gòu)件（5），其可拆卸的安裝于該清洗箱（11）的一內(nèi)側(cè)壁上；補液構(gòu)件（6），其可拆卸的安裝于該清洗箱（11）內(nèi)；聯(lián)動攪拌構(gòu)件（7），其可拆卸的布設(shè)于該補液構(gòu)件（6）上；聯(lián)動封堵構(gòu)件（8），其可拆卸的安裝于該驅(qū)動構(gòu)件（4）上，該聯(lián)動封堵構(gòu)件（8）能夠穿入至該補液構(gòu)件（6）內(nèi)；第二隨動晃動構(gòu)件（9），其可拆卸的布設(shè)于該清洗箱（11）的內(nèi)側(cè)壁上，該第二隨動晃動構(gòu)件（9）能夠在該驅(qū)動構(gòu)件（4）輸出時被驅(qū)動，在當(dāng)該第二隨動晃動構(gòu)件（9）被驅(qū)動時，能夠?qū)υ撉逑聪洌?1）的內(nèi)壁進行敲擊作業(yè)；該第一隨動晃動構(gòu)件（5）包括隨動板（51），其可拆卸的安裝于該清洗箱（11）的一內(nèi)側(cè)壁上；隨動桿（52），其穿入至該隨動板（51）內(nèi)，該隨動桿（52）能夠沿著該隨動板（51）進行上下的滑動；隨動滾輪（53），其可轉(zhuǎn)動的安裝于該隨動桿（52）的頂部；穩(wěn)固桿（54），其可拆卸的安裝于該隨動桿（52）的頂部，且該穩(wěn)固桿（54）能夠從該隨動板（51）中穿過，在該穩(wěn)固桿（54）從該隨動板（51）中穿過的一端上布設(shè)有一墊片；第二彈簧（55），其可移除的布設(shè)于該穩(wěn)固桿（54）上；隨動晃動板（56），其可拆卸的安裝于該隨動桿（52）的底部，在該隨動晃動板（56）上可拆卸的安裝有一尾板（57）；三組齒板（58），均可拆卸的安裝于該隨動晃動板（56）的邊側(cè)面，且三組該齒板（58）的齒數(shù)為自下而上是逐漸增多的；內(nèi)置軸座（59），其可拆卸的安裝于該清洗箱（11）的一內(nèi)側(cè)壁上，在該內(nèi)置軸座（59）內(nèi)可轉(zhuǎn)動的布設(shè)有一齒桿（591），在該齒桿（591）上可拆卸的布設(shè)有一第一隨動齒輪（592），在初始位置時，該第一隨動齒輪（592）與位于最低處的一組齒板（58）相嚙合，在該齒桿（591）上還可拆卸的安裝有一第二隨動齒輪（593），在該第二隨動齒輪（593）上可移除的布設(shè)有一皮帶（594），且該皮帶（594）能夠帶動多組第二隨動齒輪（593）進行轉(zhuǎn)動，在該齒桿（591）上還可拆卸的布設(shè)有多組十字攪拌葉（595）。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人廈門銀科啟瑞半導(dǎo)體科技有限公司，其通訊地址為：361101 福建省廈門市火炬高新區(qū)石墨烯新材料產(chǎn)業(yè)園五顯路866-8號101A室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。