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龍圖騰網(wǎng)恭喜朗姆研究公司申請(qǐng)的專利用于原子層沉積的動(dòng)態(tài)前體投配獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN112086381B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202010730406.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)用于原子層沉積的動(dòng)態(tài)前體投配是由普魯肖塔姆·庫(kù)馬爾;阿德里安·拉沃伊;錢俊;康胡;伊?xí)r塔克·卡里姆;歐豐松設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2016-09-29向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本用于原子層沉積的動(dòng)態(tài)前體投配在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及用于原子層沉積的動(dòng)態(tài)前體投配。公開了用于控制在半導(dǎo)體加工工具內(nèi)的前體流的方法和裝置。一種方法可以包括：使氣體流動(dòng)通過氣體管線；在投配步驟之前，打開一個(gè)或多個(gè)安瓿閥，以使前體流開始從所述安瓿通過所述氣體管線流向處理室；關(guān)閉所述一個(gè)或多個(gè)安瓿閥，以使所述前體停止從所述安瓿流出；在所述投配步驟開始時(shí)，打開處理室閥，以使所述前體流能進(jìn)入所述處理室；以及在所述投配步驟結(jié)束時(shí)，關(guān)閉所述處理室閥，以使所述前體流停止進(jìn)入所述處理室。控制器可以包括至少一個(gè)存儲(chǔ)器和至少一個(gè)處理器，并且至少一個(gè)存儲(chǔ)器可以存儲(chǔ)用于控制至少一個(gè)處理器的指令以控制在半導(dǎo)體加工工具內(nèi)的前體流。

本發(fā)明授權(quán)用于原子層沉積的動(dòng)態(tài)前體投配在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于控制在半導(dǎo)體加工工具內(nèi)的前體輸送的方法，該方法包括：a在投配步驟之前，開始前體從前體源到處理室的流動(dòng)，其中所述開始前體從前體源到處理室的流動(dòng)發(fā)生在所述投配步驟前基本上等于管線填充時(shí)間的時(shí)間量時(shí)，其中所述管線填充時(shí)間是所述前體從所述前體源流到所述處理室所需的時(shí)間；b停止所述前體流出所述前體源；c在所述投配步驟開始時(shí)，打開處理室閥，以使前體流能進(jìn)入所述處理室；以及d在所述投配步驟結(jié)束時(shí)，關(guān)閉所述處理室閥，以使所述前體流停止進(jìn)入所述處理室。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國(guó)加利福尼亞州；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。