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龍圖騰網(wǎng)恭喜比亞迪半導(dǎo)體股份有限公司申請(qǐng)的專利一種旋轉(zhuǎn)涂布方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114602760B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202011445659.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B05D1/00；該發(fā)明授權(quán)一種旋轉(zhuǎn)涂布方法是由林秀巖設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-12-08向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種旋轉(zhuǎn)涂布方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種旋轉(zhuǎn)涂布方法，所述旋轉(zhuǎn)涂布方法包括：提供基底；在所述基底上施加旋涂劑；對(duì)所述旋涂劑進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂布，以在所述基底的表面形成旋涂膜層；執(zhí)行第一振蕩步驟；執(zhí)行烘烤步驟，并且至少在所述烘烤步驟的部分時(shí)間內(nèi)執(zhí)行第二振蕩步驟，以固化所述旋涂膜層。本發(fā)明通過增加所述第一振蕩步驟和第二振蕩步驟可以改善旋涂膜層厚度的均勻性。所述旋涂膜層的厚度均勻性從7.02％提高至3％以內(nèi)，同時(shí)所述方法還可以節(jié)約旋涂劑使用成本。

本發(fā)明授權(quán)一種旋轉(zhuǎn)涂布方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種旋轉(zhuǎn)涂布方法，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)涂布方法包括：提供基底；在所述基底上施加旋涂劑；對(duì)所述旋涂劑進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂布，以在所述基底的表面形成旋涂膜層；執(zhí)行第一振蕩步驟，所述第一振蕩步驟的頻率為0.5KHz-3.5KHz；執(zhí)行烘烤步驟，并且至少在所述烘烤步驟的部分時(shí)間內(nèi)執(zhí)行第二振蕩步驟，所述第二振蕩步驟的頻率為0.1KHz-0.5KHz，以固化所述旋涂膜層。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人比亞迪半導(dǎo)體股份有限公司，其通訊地址為：518119 廣東省深圳市大鵬新區(qū)葵涌街道延安路1號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。