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龍圖騰網恭喜深圳綠源軒電子技術有限公司申請的專利一種半導體晶圓噴頭式兆聲波清洗設備及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119297126B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-04發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411821014.X，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權一種半導體晶圓噴頭式兆聲波清洗設備及方法是由梁珍友;韓亮亮設計研發完成，并于2024-12-11向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種半導體晶圓噴頭式兆聲波清洗設備及方法在說明書摘要公布了：本發明涉及半導體晶圓處理的技術領域，特別涉及一種半導體晶圓噴頭式兆聲波清洗設備及方法，包括矩形箱，矩形箱的中部開設有貫通至其兩側的貫通槽，貫通槽內滑動設置有放置板，放置板上設置有用于放置晶圓的放置單元，且矩形箱上端開設有貫通至其內部的圓槽，圓槽上安裝有用于對放置板上的晶圓進行兆聲波清洗的兆聲波單元，本發明中的多個放置單元呈圓周排列，并能夠帶動晶圓進行自轉，同步的兆聲波單元還能夠沿著圓槽的排布路徑進行轉動，因此，僅通過一個兆聲波裝置即可以對多個晶圓進行同步清洗，效率較高，進一步提高了本發明的適用性。

本發明授權一種半導體晶圓噴頭式兆聲波清洗設備及方法在權利要求書中公布了：1.一種半導體晶圓噴頭式兆聲波清洗設備，包括矩形箱（1），其特征在于：所述的矩形箱（1）的中部開設有貫通至其兩側的貫通槽，貫通槽內滑動設置有放置板（10），放置板（10）上設置有用于放置晶圓的放置單元（2），且矩形箱（1）上端開設有貫通至其內部的圓槽，圓槽上安裝有用于對放置板（10）上的晶圓進行兆聲波清洗的兆聲波單元（3）；所述的放置單元（2）包括對稱開設在放置板（10）上的兩個弧形槽（20），弧形槽（20）的一側內壁轉動設置有矩形板（21），矩形板（21）上開設有圓形槽（22），且兩側矩形板（21）上的圓形槽（22）沿圓槽軸心均勻排布；所述的圓形槽（22）內側壁上還開設有與其貫通的環形槽（23），且相鄰兩側的環形槽（23）相互貫通，環形槽（23）內轉動設置有轉動圈（24），轉動圈（24）內側壁上設置有弧形膜（25），且轉動圈（24）的內壁上還設置有數個位于弧形膜（25）內的推簧桿（26），且推簧桿（26）沿圓形槽（22）軸心均勻分布，推簧桿（26）的伸縮端設置有貼附在弧形膜（25）內側的弧形貼板（27）；所述的放置板（10）上設置有用于帶動兩個矩形板（21）進行轉動驅動組件（7），驅動組件（7）包括開設在放置板（10）上并與兩個弧形槽（20）相貫通的矩形槽（70），矩形板（21）的一側設置有位于貫通槽內的驅使軸（71），矩形槽（70）的內壁上還轉動設置有兩個對稱分布的換向軸（72），兩個換向軸（72）分別與對應的驅使軸（71）通過帶傳動的方式相連接，兩個換向軸（72）之間通過齒輪傳動的方式相連接，一側的換向軸（72）穿過放置板（10）的外側壁用于與外部電機相連接。

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