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恭喜日本株式會社日立高新技術(shù)科學(xué)望月稔宏獲國家專利權(quán)

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龍圖騰網(wǎng)恭喜日本株式會社日立高新技術(shù)科學(xué)申請的專利會聚離子束裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN112563099B

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-01發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202011022906.5,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01J37/08;該發(fā)明授權(quán)會聚離子束裝置是由望月稔宏;石井晴幸;上本敦設(shè)計研發(fā)完成,并于2020-09-25向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

會聚離子束裝置在說明書摘要公布了:提供會聚離子束裝置。在實際照射會聚離子束之前,至少能夠掌握射束以怎樣的朝向照射固定試樣的試樣臺。會聚離子束裝置具有:會聚離子束鏡筒20,其用于對試樣200照射會聚離子束20A;試樣臺51,其載置試樣;以及試樣載臺,其載置試樣臺,至少能夠沿水平方向和高度方向移動,其中,會聚離子束裝置100還具有:存儲部6M,其預(yù)先存儲試樣臺和會聚離子束的照射軸線的三維數(shù)據(jù),三維數(shù)據(jù)與試樣載臺的載臺坐標(biāo)相關(guān)聯(lián);顯示部7;以及顯示控制部6A,其根據(jù)試樣臺和會聚離子束的照射軸線的三維數(shù)據(jù),使顯示部顯示使試樣載臺進行動作而使試樣臺移動到規(guī)定的位置時的虛擬的試樣臺51v和會聚離子束的照射軸線20Av的位置關(guān)系。

本發(fā)明授權(quán)會聚離子束裝置在權(quán)利要求書中公布了:1.一種會聚離子束裝置,其具有:會聚離子束鏡筒,其用于對試樣照射會聚離子束;試樣臺,其載置所述試樣;以及試樣載臺,其載置所述試樣臺,至少能夠沿水平方向和高度方向移動,其特征在于,所述會聚離子束裝置還具有:存儲部,其預(yù)先存儲所述試樣臺和所述會聚離子束的照射軸線的三維數(shù)據(jù),所述三維數(shù)據(jù)與所述試樣載臺的載臺坐標(biāo)相關(guān)聯(lián);顯示部;以及顯示控制部,其根據(jù)所述試樣臺和所述會聚離子束的照射軸線的三維數(shù)據(jù),使所述顯示部顯示使所述試樣載臺進行動作而使所述試樣臺移動到規(guī)定的位置時的虛擬的所述試樣臺與虛擬的所述會聚離子束的照射軸線之間的位置關(guān)系,所述規(guī)定的位置使所述試樣位于被所述會聚離子束照射的與共心高度一致的照射位置,所述共心高度與在所述試樣臺上載置了試樣的狀態(tài)下即使使試樣傾斜試樣上的特定的觀察點也不發(fā)生移動的所述試樣載臺的高度對應(yīng)。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人日本株式會社日立高新技術(shù)科學(xué),其通訊地址為:日本東京都;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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