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龍圖騰網(wǎng)恭喜日本株式會(huì)社日立高新技術(shù)科學(xué)申請(qǐng)的專利會(huì)聚離子束裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN112563099B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-01發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202011022906.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/08；該發(fā)明授權(quán)會(huì)聚離子束裝置是由望月稔宏;石井晴幸;上本敦設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-09-25向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本會(huì)聚離子束裝置在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：提供會(huì)聚離子束裝置。在實(shí)際照射會(huì)聚離子束之前，至少能夠掌握射束以怎樣的朝向照射固定試樣的試樣臺(tái)。會(huì)聚離子束裝置具有：會(huì)聚離子束鏡筒20，其用于對(duì)試樣200照射會(huì)聚離子束20A；試樣臺(tái)51，其載置試樣；以及試樣載臺(tái)，其載置試樣臺(tái)，至少能夠沿水平方向和高度方向移動(dòng)，其中，會(huì)聚離子束裝置100還具有：存儲(chǔ)部6M，其預(yù)先存儲(chǔ)試樣臺(tái)和會(huì)聚離子束的照射軸線的三維數(shù)據(jù)，三維數(shù)據(jù)與試樣載臺(tái)的載臺(tái)坐標(biāo)相關(guān)聯(lián)；顯示部7；以及顯示控制部6A，其根據(jù)試樣臺(tái)和會(huì)聚離子束的照射軸線的三維數(shù)據(jù)，使顯示部顯示使試樣載臺(tái)進(jìn)行動(dòng)作而使試樣臺(tái)移動(dòng)到規(guī)定的位置時(shí)的虛擬的試樣臺(tái)51v和會(huì)聚離子束的照射軸線20Av的位置關(guān)系。

本發(fā)明授權(quán)會(huì)聚離子束裝置在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種會(huì)聚離子束裝置，其具有：會(huì)聚離子束鏡筒，其用于對(duì)試樣照射會(huì)聚離子束；試樣臺(tái)，其載置所述試樣；以及試樣載臺(tái)，其載置所述試樣臺(tái)，至少能夠沿水平方向和高度方向移動(dòng)，其特征在于，所述會(huì)聚離子束裝置還具有：存儲(chǔ)部，其預(yù)先存儲(chǔ)所述試樣臺(tái)和所述會(huì)聚離子束的照射軸線的三維數(shù)據(jù)，所述三維數(shù)據(jù)與所述試樣載臺(tái)的載臺(tái)坐標(biāo)相關(guān)聯(lián)；顯示部；以及顯示控制部，其根據(jù)所述試樣臺(tái)和所述會(huì)聚離子束的照射軸線的三維數(shù)據(jù)，使所述顯示部顯示使所述試樣載臺(tái)進(jìn)行動(dòng)作而使所述試樣臺(tái)移動(dòng)到規(guī)定的位置時(shí)的虛擬的所述試樣臺(tái)與虛擬的所述會(huì)聚離子束的照射軸線之間的位置關(guān)系，所述規(guī)定的位置使所述試樣位于被所述會(huì)聚離子束照射的與共心高度一致的照射位置，所述共心高度與在所述試樣臺(tái)上載置了試樣的狀態(tài)下即使使試樣傾斜試樣上的特定的觀察點(diǎn)也不發(fā)生移動(dòng)的所述試樣載臺(tái)的高度對(duì)應(yīng)。

如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人日本株式會(huì)社日立高新技術(shù)科學(xué)，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。