恭喜杭州盾源聚芯半導體科技有限公司馬瀟獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜杭州盾源聚芯半導體科技有限公司申請的專利一種硅片粘蠟裝置及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114566441B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111459661.7，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權一種硅片粘蠟裝置及方法是由馬瀟;葉天愛;李長蘇設計研發完成，并于2021-12-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種硅片粘蠟裝置及方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種硅片粘蠟裝置及方法，旨在解決硅片粘蠟操作不便的不足。該發明包括機架、加熱臺、傳送板、冷卻托板，傳送板置于加熱臺下方，傳送板可移動設置，冷卻托板和加熱臺橫向錯開設置，加熱臺下方安裝升降臺，升降臺上設有若干頂塊，傳送板上和頂塊對應設有避讓槽，頂塊可穿過避讓槽；冷卻托板上安裝冷卻風扇；冷卻托板可升降安裝在機架上。這種硅片粘蠟裝置方便了石英錠盤的加熱操作，加熱后的石英錠盤取用操作方便，在同一裝置上實現石英錠盤的加熱和冷卻，操作更加便捷，而且能夠加快冷卻速度。
本發明授權一種硅片粘蠟裝置及方法在權利要求書中公布了：1.一種硅片粘蠟方法，其特征是，包括以下步驟：S1，在加熱臺上表面和傳送板上裝載石英錠盤，傳送板向加熱臺下方移動使避讓槽和頂塊對準；S2，升降臺向上升起，升降臺上的頂塊穿過避讓槽并頂在石英錠盤上，使石英錠盤貼合到加熱臺下表面上；S3，加熱臺對石英錠盤進行恒溫加熱；S4，加熱臺下方的石英錠盤加熱完成后，升降臺向下移動回位使加熱臺下方的石英錠盤支撐到傳送板上，將傳送板向外拉出到冷卻托板上方，并將涂蠟后的硅片粘到石英錠盤上；加熱臺上方的石英錠盤加熱完成后，冷卻托板向上移動到與加熱臺上表面平齊位置，將加熱臺上表面上的石英錠盤推動至冷卻托板上，并將涂蠟后的硅片粘到石英錠盤上；S5，硅片與石英錠盤粘住后，驅動冷卻風扇進行冷卻降溫，降溫完成后取下石英錠盤。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人杭州盾源聚芯半導體科技有限公司，其通訊地址為：310051 浙江省杭州市濱江區濱康路668號C幢；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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