恭喜蘇州浦豐鑫電子科技有限公司周偉獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜蘇州浦豐鑫電子科技有限公司申請的專利一種晶圓清洗干燥設備獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN222705492U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202420036585.1,技術領域涉及:H01L21/687;該實用新型一種晶圓清洗干燥設備是由周偉設計研發完成,并于2024-01-08向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓清洗干燥設備在說明書摘要公布了:本實用新型公開了一種晶圓清洗干燥設備,包括外殼,所述外殼內壁兩側分別設有第一滑槽,兩個所述第一滑槽上分別滑動連接設有滑塊,兩個所述滑塊一側固定連接設有滑動板,所述滑動板兩端分別螺紋連接設有螺紋柱,兩個所述螺紋柱上側分別固定連接設有第一錐齒輪,兩個所述第一錐齒輪一側分別嚙合設有第二錐齒輪,兩個所述第二錐齒輪一側固定連接設有轉動桿,所述轉動桿一側連接設有雙頭電機,所述滑動板一側中央連接設有連接柱,所述連接柱上側連接設有固定夾持裝置。本實用新型與現有的技術相比的優點在于:提供一種清洗干燥效率高的且保證晶圓不會掉落的晶圓清洗干燥設備。
本實用新型一種晶圓清洗干燥設備在權利要求書中公布了:1.一種晶圓清洗干燥設備,包括外殼1,其特征在于:所述外殼1內壁兩側分別設有第一滑槽2,兩個所述第一滑槽2上分別滑動連接設有滑塊3,兩個所述滑塊3一側固定連接設有滑動板4,所述滑動板4兩端分別螺紋連接設有螺紋柱5,兩個所述螺紋柱5上側分別固定連接設有第一錐齒輪6,兩個所述第一錐齒輪6一側分別嚙合設有第二錐齒輪7,兩個所述第二錐齒輪7一側固定連接設有轉動桿8,所述轉動桿8一側連接設有雙頭電機9,所述滑動板4一側中央連接設有連接柱11,所述連接柱11上側連接設有固定夾持裝置12。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州浦豐鑫電子科技有限公司,其通訊地址為:215000 江蘇省蘇州市高新區泰山路向街19號廠區二樓東南側;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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