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龍圖騰網(wǎng)恭喜上海積塔半導(dǎo)體有限公司申請(qǐng)的專利晶圓電鍍裝置獲國(guó)家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN222700454U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-01發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202420412284.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C25D19/00；該實(shí)用新型晶圓電鍍裝置是由蘇顯月;拉海忠;閆曉暉設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-03-04向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本晶圓電鍍裝置在說明書摘要公布了：本實(shí)用新型涉及一種晶圓電鍍裝置。所述晶圓電鍍裝置包括：存存儲(chǔ)腔室，用于存儲(chǔ)暖機(jī)片；電鍍腔室，位于所述存儲(chǔ)腔室外部，所述電鍍腔室內(nèi)具有電鍍結(jié)構(gòu)，所述電鍍結(jié)構(gòu)用于在所述暖機(jī)片表面形成金屬電鍍層；清洗腔室，位于所述電鍍腔室外部，所述清洗腔室內(nèi)具有清洗結(jié)構(gòu)，所述清洗結(jié)構(gòu)用于去除所述暖機(jī)片表面的所述金屬電鍍層。本實(shí)用新型不僅簡(jiǎn)化了暖機(jī)片的清洗操作，減少了對(duì)其他清洗機(jī)臺(tái)或者量測(cè)機(jī)臺(tái)的占用，同時(shí)提高了暖機(jī)片的清洗效率。

本實(shí)用新型晶圓電鍍裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓電鍍裝置，其特征在于，包括：存儲(chǔ)腔室，用于存儲(chǔ)暖機(jī)片；電鍍腔室，位于所述存儲(chǔ)腔室外部，所述電鍍腔室內(nèi)具有電鍍結(jié)構(gòu)，所述電鍍結(jié)構(gòu)用于在所述暖機(jī)片表面形成金屬電鍍層；清洗腔室，位于所述電鍍腔室外部，所述清洗腔室內(nèi)具有清洗結(jié)構(gòu)，所述清洗結(jié)構(gòu)用于去除所述暖機(jī)片表面的所述金屬電鍍層。

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