恭喜上海積塔半導(dǎo)體有限公司蘇顯月獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜上海積塔半導(dǎo)體有限公司申請的專利晶圓電鍍裝置獲國家實(shí)用新型專利權(quán),本實(shí)用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN222700454U 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-01發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉:該實(shí)用新型的專利申請?zhí)?專利號為:202420412284.4,技術(shù)領(lǐng)域涉及:C25D19/00;該實(shí)用新型晶圓電鍍裝置是由蘇顯月;拉海忠;閆曉暉設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2024-03-04向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本晶圓電鍍裝置在說明書摘要公布了:本實(shí)用新型涉及一種晶圓電鍍裝置。所述晶圓電鍍裝置包括:存存儲腔室,用于存儲暖機(jī)片;電鍍腔室,位于所述存儲腔室外部,所述電鍍腔室內(nèi)具有電鍍結(jié)構(gòu),所述電鍍結(jié)構(gòu)用于在所述暖機(jī)片表面形成金屬電鍍層;清洗腔室,位于所述電鍍腔室外部,所述清洗腔室內(nèi)具有清洗結(jié)構(gòu),所述清洗結(jié)構(gòu)用于去除所述暖機(jī)片表面的所述金屬電鍍層。本實(shí)用新型不僅簡化了暖機(jī)片的清洗操作,減少了對其他清洗機(jī)臺或者量測機(jī)臺的占用,同時提高了暖機(jī)片的清洗效率。
本實(shí)用新型晶圓電鍍裝置在權(quán)利要求書中公布了:1.一種晶圓電鍍裝置,其特征在于,包括:存儲腔室,用于存儲暖機(jī)片;電鍍腔室,位于所述存儲腔室外部,所述電鍍腔室內(nèi)具有電鍍結(jié)構(gòu),所述電鍍結(jié)構(gòu)用于在所述暖機(jī)片表面形成金屬電鍍層;清洗腔室,位于所述電鍍腔室外部,所述清洗腔室內(nèi)具有清洗結(jié)構(gòu),所述清洗結(jié)構(gòu)用于去除所述暖機(jī)片表面的所述金屬電鍍層。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人上海積塔半導(dǎo)體有限公司,其通訊地址為:200123 上海市浦東新區(qū)中國(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)云水路600號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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