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龍圖騰網(wǎng)恭喜云際芯光(珠海)微電子有限公司;天津大學(xué)申請的專利一種一體式的諧振式石英加速度計的制造方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119018847B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-25發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202411467855.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B81C1/00；該發(fā)明授權(quán)一種一體式的諧振式石英加速度計的制造方法是由崔魏巍;王冕;張浩設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-10-21向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種一體式的諧振式石英加速度計的制造方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開一種一體式的諧振式石英加速度計的制造方法，包括：選用石英片，對石英片依次進(jìn)行酸洗、堿洗和DI水沖洗，得到處理后的石英片；進(jìn)行鍍膜，形成膜層；形成帶有加速度計結(jié)構(gòu)圖案的金屬硬掩模的石英片；放入第一種有機(jī)刻蝕溶液進(jìn)行濕法刻蝕；對石英片上的側(cè)壁進(jìn)行消棱；石英片的鉸鏈厚度方向的下表面形成金屬硬掩模和懸臂梁厚度方向的上表面形成金屬硬掩模，然后將石英片放入第二種有機(jī)刻蝕溶液進(jìn)行刻蝕，以得到懸臂梁和鉸鏈；去除石英片的表面膜層；對石英加速度計的懸臂梁的表面進(jìn)行制作電極，得到最終的石英加速度計。本發(fā)明使得石英加速度計的靈敏度提高約4倍，并保證了其機(jī)械穩(wěn)定性，以及還大幅增加機(jī)電耦合系數(shù)。

本發(fā)明授權(quán)一種一體式的諧振式石英加速度計的制造方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種一體式的諧振式石英加速度計的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：步驟1：選用石英片，對石英片依次進(jìn)行酸洗、堿洗和DI水沖洗，得到處理后的石英片；步驟2：在處理后的石英片的厚度方向的上下表面進(jìn)行鍍膜，形成預(yù)設(shè)厚度的膜層；步驟3：形成帶有加速度計結(jié)構(gòu)圖案的金屬硬掩模的石英片，所述形成帶有加速度計結(jié)構(gòu)圖案的金屬硬掩模的石英片，其具體實現(xiàn)過程，包括以下步驟：在鍍膜后的石英片的厚度方向的上下表面旋涂預(yù)設(shè)厚度的正性光刻膠，預(yù)設(shè)厚度可為2-5μm，然后，旋涂光刻膠后的石英片依次經(jīng)曝光機(jī)雙面對準(zhǔn)曝光、在溫度為100℃的熱板上進(jìn)行前烘、顯影、溫度為107℃的熱板上進(jìn)行后烘，并將顯影處理后無光刻膠所在的鍍膜采用刻蝕液進(jìn)行刻蝕掉，刻蝕液選用金、鉻刻蝕液，以刻蝕掉相應(yīng)位置上的金膜層和鉻膜層，從而在石英片厚度方向的上下表面形成帶有加速度計圖案的金屬硬掩模，然后，將金屬硬掩模上的加速度計圖案轉(zhuǎn)移到已固化的光刻膠上，得到帶有加速度計結(jié)構(gòu)圖案的石英片，在刻蝕過程中，采用晶舟裝載石英片并靜止放置在22℃的金刻蝕液和鉻刻蝕液中，以對未被光刻膠覆蓋區(qū)域的鍍膜進(jìn)行去除，并且根據(jù)刻蝕液濃度大小設(shè)置間隔時間，每隔該間隔時間，上下拉動石英片，刻蝕后，將晾干后的石英片放入N-甲基吡咯烷酮溶液浸泡并維持第一預(yù)設(shè)時長，然后再放入IPA溶液浸泡并維持第二預(yù)設(shè)時長，以去掉表面固化正性光刻膠，然后，再將石英片放入流動的DI水中進(jìn)行清洗，將去除正性光刻膠后的石英片放入第一刻蝕液進(jìn)行刻蝕，第一刻蝕液選用40%濃度的HF、45%濃度的NH4F的混合溶液，按質(zhì)量比，兩者的溶液配比為3:2，在30℃恒溫下刻蝕40h，然后取出并依次經(jīng)DI水清洗、烘干，得到的包含初步加速度計結(jié)構(gòu)的石英片，然后，對石英片進(jìn)行二次光刻：在80℃的封閉腔室內(nèi)對石英片的表面進(jìn)行噴涂光刻膠，形成的光刻膠的厚度為5μm，噴涂光刻膠后，將石英片放入溫度為110℃的熱板上進(jìn)行熱烘，并持續(xù)90s，熱烘完后，采用曝光機(jī)對石英片進(jìn)行雙面曝光，曝光后，將石英片靜置在顯影液中進(jìn)行顯影處理，然后將掩膜版上的圖案轉(zhuǎn)移到已固化的光刻膠的表面；步驟4：將帶有所述金屬硬掩模的石英片放入第一種有機(jī)刻蝕溶液進(jìn)行濕法刻蝕，得到包含初步加速度計結(jié)構(gòu)的石英片；步驟5：對包含初步加速度計結(jié)構(gòu)的石英片上的側(cè)壁進(jìn)行消棱；步驟6：石英片的鉸鏈厚度方向的下表面形成金屬硬掩模和懸臂梁厚度方向的上表面形成金屬硬掩模，然后將石英片放入第二種有機(jī)刻蝕溶液進(jìn)行刻蝕，以得到懸臂梁和鉸鏈；步驟7：去除石英片的表面膜層；步驟8，對石英加速度計的懸臂梁的表面進(jìn)行制作電極，得到最終的石英加速度計。

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