恭喜寧波榮寶雨半導體有限公司黃新生獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜寧波榮寶雨半導體有限公司申請的專利一種用于陶瓷基板的超聲去膜裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119208214B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-25發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202411730682.1,技術領域涉及:H01L21/67;該發明授權一種用于陶瓷基板的超聲去膜裝置是由黃新生設計研發完成,并于2024-11-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種用于陶瓷基板的超聲去膜裝置在說明書摘要公布了:本申請公開了一種用于陶瓷基板的超聲去膜裝置,包括超聲槽和升降架,所述升降架的外側設有驅動部,所述升降架設置有轉動安裝件,所述轉動安裝件使所述升降架可轉動安裝且初始狀態保持水平;在所述升降架的上升路徑中設有阻擋結構,所述升降架在水平方向對應的位置設置有卡位部,所述卡位部使所述升降架無法在水平狀態逆時針轉動。本申請可實現對陶瓷基板的自動化超聲處理;升降架在超聲處理完成后上升時,到達阻擋結構的位置自動傾斜落料,無需額外設置出料設備以及用于識別完成超聲處理的識別設備,也無需后續人工操作,具有節省成本、自動化的優點。
本發明授權一種用于陶瓷基板的超聲去膜裝置在權利要求書中公布了:1.一種用于陶瓷基板的超聲去膜裝置,其特征在于,包括超聲槽和升降架,所述升降架的外側設有驅動部,所述升降架設置有轉動安裝件,所述轉動安裝件使所述升降架可轉動安裝且初始狀態保持水平;在所述升降架的上升路徑中設有阻擋結構,所述升降架在水平方向對應的位置設置有卡位部,所述卡位部使所述升降架無法在水平狀態逆時針轉動;所述升降架從所述超聲槽的液面下開始上升,直至高于所述超聲槽頂面設定高度時作用于所述阻擋結構并使所述阻擋結構彈性形變,期間所述升降架轉動傾斜,直至所述升降架離開所述阻擋結構時,所述升降架回到水平狀態、所述阻擋結構復位;所述升降架從頂部上料后下降,與所述阻擋結構相接時使所述阻擋結構彈性形變,所述升降架保持水平狀態并經過所述阻擋結構,最終到達所述超聲槽的液面下進行超聲處理;所述升降架為方管型、四側均開設通孔的構型,所述升降架的兩端上下滑移設置有封板;所述超聲槽內腔內壁在高于水位線的位置也設置有所述阻擋結構;所述阻擋結構包括一對與所述升降架相互作用的作用部,一對所述作用部分別對應所述升降架的同側兩端;所述封板在水平方向的投影位于一對所述作用部在水平方向的投影之間,一對所述作用部之間的距離小于所述升降架的寬度,所述封板的寬度小于所述升降架的寬度;所述作用部設置有水平方向且朝所述超聲槽外側的彈性件,所述升降架上升或下降時作用于所述作用部,使所述作用部朝所述超聲槽的外側平移或翻轉,同時使所述彈性件壓縮,直至所述升降架離開所述作用部時所述彈性件復位并使所述作用部復位。
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