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龍圖騰網恭喜無錫邑文微電子科技股份有限公司;江蘇邑文微電子科技有限公司申請的專利一種阻抗匹配方法和半導體設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119480604B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-25發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510052754.X，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權一種阻抗匹配方法和半導體設備是由吳元明;邢浩;楊永博;孫文彬設計研發完成，并于2025-01-14向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種阻抗匹配方法和半導體設備在說明書摘要公布了：本發明公開了一種阻抗匹配方法和半導體設備，阻抗匹配方法包括：確定電源的輸出阻抗的預設幅值和預設相位；采集匹配器的輸入端的幅值和相位；在幅值與預設幅值的差值小于第一差值，相位與預設相位的差值小于第二差值的情況下，確定在當前時間段內的電源的反射功率的平均值小于反射功率不良臨界值；確定在當前時間段內的匹配器的輸出端每一電壓值大于電壓閾值的第一風險次數或者每一電流值大于電流閾值的第二風險次數；在第一風險次數或者第二風險次數小于或等于預設風險次數的情況下，所述幅值和所述相位使得所述電源的輸出阻抗與所述設備腔室的負載阻抗相匹配，本發明可以實現快速、穩定、高效的阻抗匹配，提高工藝結果的穩定性。

本發明授權一種阻抗匹配方法和半導體設備在權利要求書中公布了：1.一種阻抗匹配方法，其特征在于，阻抗匹配電路包括：電源、匹配器和設備腔室；所述設備腔室包括線圈和負載阻抗，所述電源與所述匹配器的輸入端連接，所述匹配器的輸出端與所述設備腔室的線圈連接；所述阻抗匹配方法包括：確定所述匹配器的輸入端的預設幅值和預設相位；所述預設幅值和所述預設相位使得所述電源的輸出阻抗與所述設備腔室的負載阻抗相匹配；采集所述匹配器的輸入端的幅值和相位；在所述幅值與所述預設幅值的差值小于第一差值，所述相位與所述預設相位的差值小于第二差值的情況下，確定在當前時間段內的所述電源的反射功率的平均值；其中，所述第一差值為所述幅值與所述預設幅值的誤差范圍的絕對值，第二差值為所述相位與所述預設相位的誤差范圍的絕對值；確定所述電源的反射功率的平均值小于反射功率不良臨界值；獲取在當前時間段內的所述匹配器的輸出端的所有電壓值或所有電流值；確定每一電壓值大于電壓閾值的第一風險次數，或者每一電流值大于電流閾值的第二風險次數；在所述第一風險次數或者所述第二風險次數小于或等于預設風險次數的情況下，所述幅值和所述相位使得所述電源的輸出阻抗與所述設備腔室的負載阻抗相匹配。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人無錫邑文微電子科技股份有限公司;江蘇邑文微電子科技有限公司，其通訊地址為：214000 江蘇省無錫市新吳區觀山路1號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。