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龍圖騰網(wǎng)恭喜株式會社迪思科申請的專利工件的保持方法和工件的處理方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN111415862B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202010004773.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/304；該發(fā)明授權(quán)工件的保持方法和工件的處理方法是由宮城有佑;保羅·文森特·埃藤迪多設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-01-03向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本工件的保持方法和工件的處理方法在說明書摘要公布了：提供工件的保持方法和工件的處理方法，在對呈碗狀存在翹曲的工件進行保持并處理的情況下，不會因工件的按壓而引起異物附著，利用保持面對工件進行吸引保持并實施適當(dāng)?shù)奶幚怼Ｒ环N呈碗狀存在翹曲的工件的保持方法，包含如下的步驟：載置步驟，將工件W載置在保持單元30的保持面31上，該保持單元30具有：保持面31，其對工件進行保持；吸引孔320，其在保持面31上開口；以及吸引路33，其將吸引孔320選擇性地與吸引源339連通；液體提供步驟，向保持面31上的工件W提供液體L而使液體L流入保持面31與工件W之間；以及吸引步驟，在實施了液體提供步驟之后，使吸引孔320與吸引源339連通而對工件W與液體L一起進行吸引，從而利用保持面31進行保持。

本發(fā)明授權(quán)工件的保持方法和工件的處理方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種工件的保持方法，該工件呈碗狀存在翹曲，其中，該工件的保持方法具有如下的步驟：載置步驟，將工件載置在保持單元的保持面上，在工件的背面的外周側(cè)的區(qū)域與該保持面之間形成由于該翹曲而產(chǎn)生的間隙，該保持單元具有：所述保持面，其對該工件進行保持；吸引孔，其在該保持面上開口；以及吸引路，其將該吸引孔選擇性地與吸引構(gòu)件連通；液體提供步驟，向該保持面上的工件的上表面的中央?yún)^(qū)域提供液體，使該液體在該工件上堆積并且向該工件的徑向外側(cè)擴展而使該液體流入該保持面與該工件之間；以及吸引步驟，在實施了該液體提供步驟并成為該液體通過表面張力在工件的上表面堆積而使該間隙持續(xù)充滿該液體的狀態(tài)之后，使該吸引孔與該吸引構(gòu)件連通而對該工件與該液體一起進行吸引，從而利用該保持面進行保持。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人株式會社迪思科，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。