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龍圖騰網恭喜應用材料公司;加利福尼亞大學董事會申請的專利利用脈沖式化學氣相沉積的金屬氧化物的選擇性沉積獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115698371B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180027095.4，技術領域涉及：C23C16/04；該發明授權利用脈沖式化學氣相沉積的金屬氧化物的選擇性沉積是由基思·塔特森·王;斯里尼瓦斯·D·內曼尼;安德魯·C·庫梅爾;尤尼爾·曺;詹姆斯·黃設計研發完成，并于2021-02-02向國家知識產權局提交的專利申請。

本利用脈沖式化學氣相沉積的金屬氧化物的選擇性沉積在說明書摘要公布了：本文描述與論述的實施方式提供用于在基板上選擇性沉積金屬氧化物的方法。在一個或多個實施方式中，用于形成金屬氧化物材料的方法包括：將基板定位在處理腔室內，其中基板具有鈍化與未鈍化表面，將基板暴露于第一金屬醇鹽前驅物以將第一金屬氧化物層選擇性沉積在未鈍化表面之上或上面，以及將基板暴露于第二金屬醇鹽前驅物以將第二金屬氧化物層選擇性沉積在第一金屬氧化物層上。該方法也包括依序地重復將基板暴露于第一與第二金屬醇鹽前驅物以產生含有第一與第二金屬氧化物層的交替層的積層膜。第一與第二金屬醇鹽前驅物各自含有選自鈦、鋯、鉿、鋁或鑭的不同種類的金屬。

本發明授權利用脈沖式化學氣相沉積的金屬氧化物的選擇性沉積在權利要求書中公布了：1.一種形成金屬氧化物材料的方法，包括以下步驟：將基板定位在處理腔室內，其中所述基板包括鈍化表面與未鈍化表面，以及其中所述未鈍化表面以氫化物基團、氫氧化物基團、或前述物的組合封端；將所述基板暴露于第一金屬醇鹽前驅物以在所述未鈍化表面之上或上面產生第一金屬氧化物層，而所述鈍化表面維持至少實質上無所述第一金屬氧化物層，其中所述第一金屬醇鹽前驅物被熱分解以產生所述第一金屬氧化物層；將所述基板暴露于第二金屬醇鹽前驅物以在所述第一金屬氧化層上產生第二金屬氧化物層，而所述鈍化表面維持至少實質上無所述第二金屬氧化物層，其中所述第二金屬醇鹽前驅物被熱分解以產生所述第二金屬氧化物層；以及依序地重復將所述基板暴露于所述第一金屬醇鹽前驅物與所述第二金屬醇鹽前驅物以產生包括所述第一金屬氧化物層與所述第二金屬氧化物層的交替層的積層膜，其中所述第一金屬醇鹽前驅物與所述第二金屬醇鹽前驅物獨立地包括一種金屬，所述金屬選自由鈦、鋯、鉿、鋁與鑭所組成的群組，以及其中所述第一金屬醇鹽前驅物與所述第二金屬醇鹽前驅物具有不同的金屬。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司;加利福尼亞大學董事會，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。