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龍圖騰網(wǎng)恭喜應(yīng)用材料公司;加利福尼亞大學(xué)董事會(huì)申請(qǐng)的專利利用脈沖式化學(xué)氣相沉積的金屬氧化物的選擇性沉積獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115698371B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202180027095.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C16/04；該發(fā)明授權(quán)利用脈沖式化學(xué)氣相沉積的金屬氧化物的選擇性沉積是由基思·塔特森·王;斯里尼瓦斯·D·內(nèi)曼尼;安德魯·C·庫梅爾;尤尼爾·曺;詹姆斯·黃設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-02-02向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本利用脈沖式化學(xué)氣相沉積的金屬氧化物的選擇性沉積在說明書摘要公布了：本文描述與論述的實(shí)施方式提供用于在基板上選擇性沉積金屬氧化物的方法。在一個(gè)或多個(gè)實(shí)施方式中，用于形成金屬氧化物材料的方法包括：將基板定位在處理腔室內(nèi)，其中基板具有鈍化與未鈍化表面，將基板暴露于第一金屬醇鹽前驅(qū)物以將第一金屬氧化物層選擇性沉積在未鈍化表面之上或上面，以及將基板暴露于第二金屬醇鹽前驅(qū)物以將第二金屬氧化物層選擇性沉積在第一金屬氧化物層上。該方法也包括依序地重復(fù)將基板暴露于第一與第二金屬醇鹽前驅(qū)物以產(chǎn)生含有第一與第二金屬氧化物層的交替層的積層膜。第一與第二金屬醇鹽前驅(qū)物各自含有選自鈦、鋯、鉿、鋁或鑭的不同種類的金屬。

本發(fā)明授權(quán)利用脈沖式化學(xué)氣相沉積的金屬氧化物的選擇性沉積在權(quán)利要求書中公布了：1.一種形成金屬氧化物材料的方法，包括以下步驟：將基板定位在處理腔室內(nèi)，其中所述基板包括鈍化表面與未鈍化表面，以及其中所述未鈍化表面以氫化物基團(tuán)、氫氧化物基團(tuán)、或前述物的組合封端；將所述基板暴露于第一金屬醇鹽前驅(qū)物以在所述未鈍化表面之上或上面產(chǎn)生第一金屬氧化物層，而所述鈍化表面維持至少實(shí)質(zhì)上無所述第一金屬氧化物層，其中所述第一金屬醇鹽前驅(qū)物被熱分解以產(chǎn)生所述第一金屬氧化物層；將所述基板暴露于第二金屬醇鹽前驅(qū)物以在所述第一金屬氧化層上產(chǎn)生第二金屬氧化物層，而所述鈍化表面維持至少實(shí)質(zhì)上無所述第二金屬氧化物層，其中所述第二金屬醇鹽前驅(qū)物被熱分解以產(chǎn)生所述第二金屬氧化物層；以及依序地重復(fù)將所述基板暴露于所述第一金屬醇鹽前驅(qū)物與所述第二金屬醇鹽前驅(qū)物以產(chǎn)生包括所述第一金屬氧化物層與所述第二金屬氧化物層的交替層的積層膜，其中所述第一金屬醇鹽前驅(qū)物與所述第二金屬醇鹽前驅(qū)物獨(dú)立地包括一種金屬，所述金屬選自由鈦、鋯、鉿、鋁與鑭所組成的群組，以及其中所述第一金屬醇鹽前驅(qū)物與所述第二金屬醇鹽前驅(qū)物具有不同的金屬。

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