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龍圖騰網恭喜南京偉測半導體科技有限公司申請的專利晶圓分導設備及其工作方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114927449B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210579733.X，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權晶圓分導設備及其工作方法是由吳慶;王剛;聞國濤;陳迎濤;高大會設計研發完成，并于2022-03-25向國家知識產權局提交的專利申請。

本晶圓分導設備及其工作方法在說明書摘要公布了：本申請公開晶圓分導設備及其工作方法，所述晶圓分導設備的工作方法包括：在承載座上形成第一承載位，用以承載裝有待分導晶圓的承載晶舟；承載于所述第一承載位的所述承載晶舟通過帶移組件帶動止移擋移動，以避讓出用于分導承載于所述承載晶舟的分導臂移動的空間，其中所述止移擋被設置沿多個分導臂排列的方向延伸，所述止移擋以能夠被所述帶移組件帶動而能夠在移離所述推導端移動路徑的狀態和回復至所述推導端移動路徑的狀態之間切換的方式設置于所述承載座，其中每個所述分導臂與所述承載晶舟的第一放置槽的晶圓相對應；推動所述分導臂，進而分導出與被推動的所述分導臂相對應且位于所述承載晶舟的第一放置槽的所述晶圓。

本發明授權晶圓分導設備及其工作方法在權利要求書中公布了：1.晶圓分導設備，用于將至少一晶圓分導出承載晶舟，所述承載晶舟具有第一入口、第一出口以及與所述第一入口和所述第一出口連通的第一存放空間，所述承載晶舟上形成所述第一存放空間的內壁上形成至少一組第一放置槽，其中所述第一放置槽沿橫向延伸，且介于所述第一入口和所述第一出口之間，用以放置所述晶圓，其特征在于，所述晶圓分導設備包括：承載座，其中所述承載座形成第一承載位，用以承載所述承載晶舟；分導組件，其中所述分導組件包括導向主體和多個間隔設置的分導臂，其中所述導向主體被設置于所述承載座，其中每個所述分導臂具有推導端，其中所述分導臂可平行滑動地設置在所述導向主體，其中每個所述分導臂與承載于所述承載晶舟的所述第一放置槽的所述晶圓相對應，以在任一所述分導臂被驅動而經由所述第一入口滑入所述第一存放空間后，位于所述第一放置槽的對應所述晶圓被所述分導臂推動，并隨著所述分導臂持續地朝向所述第一出口滑動時，所述晶圓被從所述第一出口分導出；整體分導組件，所述整體分導組件包括整體分導件和多個排列于同一列的帶動件，其中所述整體分導件形成一組避讓通道，其中每個所述避讓通道所處的高度與每個所述分導臂處于同一水平高度，以在所述分導臂沿著橫向滑動時，每個所述分導臂分別能夠通過對應的所述避讓通道而自所述承載晶舟的所述第一入口進入所述第一存放空間，所述帶動件被設置于所述分導組件的每個所述分導臂，且介于所述分導臂的所述推導端與所述整體分導件之間，其中所述帶動件被設置于所述整體分導件移動的路徑，以在所述整體分導件移動時，所述帶動件能夠隨著所述整體分導件的移動而一起移動；所述導向主體包括本體和至少一第一限移結構，所述本體形成第一滑道，所述第一限移結構被設置于所述導向主體，所述導向主體定義與所述第一滑道連通的至少一出口，其中所述出口與所述第一入口連通，所述分導臂被可沿所述第一限移結構的延伸方向移動地安裝于所述第一限移結構。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人南京偉測半導體科技有限公司，其通訊地址為：210000 江蘇省南京市浦口區浦口經濟開發區雙峰路69號C-93；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。