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龍圖騰網(wǎng)恭喜馬卡羅有限公司申請的專利蝴蝶閥的控制方法及裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN118434991B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202380014393.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：F16K31/04；該發(fā)明授權(quán)蝴蝶閥的控制方法及裝置是由鄭盛允;金泰赫;金?，撛O(shè)計研發(fā)完成，并于2023-11-13向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本蝴蝶閥的控制方法及裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供蝴蝶閥的控制裝置及控制方法。多個實施例的蝴蝶閥的控制裝置及控制方法執(zhí)行通過壓力級別高速旋轉(zhuǎn)信息預先調(diào)節(jié)板角度的第一控制模式，可縮短腔室達到目標壓力所需的控制時間、控制循環(huán)，可提高在腔室執(zhí)行的工序質(zhì)量及可靠度。多個實施例的蝴蝶閥的控制方法及控制裝置可基于隨著工序執(zhí)行發(fā)生的狀態(tài)變化來更新壓力級別高速旋轉(zhuǎn)信息，由此，可執(zhí)行更加精密的控制。

本發(fā)明授權(quán)蝴蝶閥的控制方法及裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種蝴蝶閥的控制裝置，其特征在于，包括：蝴蝶閥，位于腔室內(nèi)部與流體相連通的管路上，包括閥本體及板，上述閥本體在內(nèi)部壁面形成有與上述管路相連通的閥通路，上述板通過軸與上述閥本體相連接，通過上述軸的沿周向的轉(zhuǎn)動來調(diào)節(jié)流經(jīng)上述閥通路的流量；閥驅(qū)動部，用于提供轉(zhuǎn)動上述軸所需的旋轉(zhuǎn)力；閥控制部，向上述閥驅(qū)動部提供控制信號，通過上述板的沿周向的轉(zhuǎn)動來控制上述腔室內(nèi)部的壓力；第一傳感部，用于檢測上述腔室內(nèi)部的壓力并生成壓力信息；以及存儲器，用于存儲上述腔室內(nèi)部的壓力級別高速旋轉(zhuǎn)信息，其中，上述閥控制部按照第一控制模式及第二控制模式來控制上述腔室內(nèi)部的壓力，在上述第一控制模式下，基于上述壓力級別高速旋轉(zhuǎn)信息生成第一控制信號并通過上述第一控制信號控制上述板的旋轉(zhuǎn)角度，在上述第二控制模式下，生成第二控制信號以使得上述壓力信息追蹤目標壓力并通過上述第二控制信號控制上述板的旋轉(zhuǎn)角度，其中，上述閥控制部通過響應控制啟動信號優(yōu)先應用第一控制模式來控制上述板的旋轉(zhuǎn)角度，并且在上述第一控制模式中，上述閥控制部從上述壓力級別高速旋轉(zhuǎn)信息中調(diào)用與所設(shè)定的目標壓力相對應的板的旋轉(zhuǎn)角度來生成上述第一控制信號，其中，上述閥控制部基于上述目標壓力及上述壓力信息的變化量來判斷是否將上述第一控制模式轉(zhuǎn)換為上述第二控制模式，其中，上述閥控制部通過將上述壓力信息與當前板的旋轉(zhuǎn)角度進行映射來構(gòu)建實際測定信息，并且將上述實際測定信息作為上述壓力級別高速旋轉(zhuǎn)信息存儲在上述存儲器中。

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