恭喜北京七星華創(chuàng)集成電路裝備有限公司吳迪獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜北京七星華創(chuàng)集成電路裝備有限公司申請的專利晶圓裝載機構(gòu)及半導(dǎo)體工藝設(shè)備獲國家實用新型專利權(quán)，本實用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN222653927U 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的實用新型授權(quán)公告中獲悉：該實用新型的專利申請?zhí)?專利號為：202420355427.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/677；該實用新型晶圓裝載機構(gòu)及半導(dǎo)體工藝設(shè)備是由吳迪;孫增強;田永安設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-02-26向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本晶圓裝載機構(gòu)及半導(dǎo)體工藝設(shè)備在說明書摘要公布了：本實用新型提供一種晶圓裝載機構(gòu)及半導(dǎo)體工藝設(shè)備。晶圓裝載機構(gòu)包括承載組件以及傳輸組件；承載組件包括支撐件和設(shè)置于支撐件的鎖定結(jié)構(gòu)，傳輸組件用于裝載晶圓承載盒至支撐件上；鎖定結(jié)構(gòu)用于鎖緊于晶圓承載盒的底部，或者解除對晶圓承載盒底部的鎖緊；傳輸組件具有避讓鎖定結(jié)構(gòu)的避讓空間，以使承載組件能夠從晶圓承載盒的底部位置對晶圓承載盒進(jìn)行鎖緊，增強晶圓承載盒在裝載、卸載過程中的穩(wěn)定性和兼容性，避免對晶圓承載盒底座造成損傷。
本實用新型晶圓裝載機構(gòu)及半導(dǎo)體工藝設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓裝載機構(gòu)，其特征在于，包括承載組件以及傳輸組件；所述承載組件包括支撐件和設(shè)置于所述支撐件的鎖定結(jié)構(gòu)，所述傳輸組件用于裝載晶圓承載盒至所述支撐件上；所述鎖定結(jié)構(gòu)用于鎖緊于所述晶圓承載盒的底部，或者解除對所述晶圓承載盒底部的鎖緊；所述傳輸組件具有避讓所述鎖定結(jié)構(gòu)的避讓空間。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人北京七星華創(chuàng)集成電路裝備有限公司，其通訊地址為：101312 北京市順義區(qū)天竺綜合保稅區(qū)竺園三街6號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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