恭喜北京七星華創集成電路裝備有限公司吳濤獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜北京七星華創集成電路裝備有限公司申請的專利密封門及半導體設備獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN222649843U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202420489112.7,技術領域涉及:E06B5/14;該實用新型密封門及半導體設備是由吳濤;韓彬;田永安設計研發完成,并于2024-03-13向國家知識產權局提交的專利申請。
本密封門及半導體設備在說明書摘要公布了:本實用新型提供一種密封門及半導體設備,密封門包括支撐板、密封板及啟閉裝置,密封板與支撐板相互平行且厚度方向均平行于第一方向,啟閉裝置包括抵頂件、配合件和驅動裝置,支撐板與密封板中的一者與抵頂件活動連接、另一者與配合件固定連接,配合件與抵頂件上的抵接斜面抵接,抵頂件相對于支撐板和密封板沿第二方向平移。抵頂件具有第一位置和第二位置,抵頂件由第一位置向第二位置切換時,配合件沿抵接斜面滑動,帶動密封板沿第一方向平移以遠離支撐板;在第二位置時,密封板密封存儲腔室。利用啟閉裝置來取代氣囊,相較于氣囊充氣時間和氣囊放氣時間,抵頂件在第一位置和第二位置之間切換所需時長短,密封門的開門時長和關門時長可縮短。
本實用新型密封門及半導體設備在權利要求書中公布了:1.一種密封門,用于半導體設備,其特征在于,包括:支撐板;密封板,與所述支撐板相互平行,所述密封板沿其厚度方向具有相背設置的側面和密封面,所述密封面遠離所述支撐板,所述密封板的厚度方向及所述支撐板的厚度方向均平行于第一方向;以及啟閉裝置,包括抵頂件、配合件和驅動裝置;所述抵頂件上形成有抵接斜面,所述抵接斜面傾斜于所述密封面,所述抵頂件活動連接于所述支撐板與所述密封板中的一者上、所述配合件固定設置于所述支撐板與所述密封板中的另一者上,所述配合件與所述抵接斜面抵接;所述驅動裝置與所述抵頂件傳動連接,以驅動所述抵頂件相對于所述支撐板和所述密封板沿第二方向往復平移,所述第二方向垂直于所述第一方向;所述抵頂件具有第一位置和第二位置,所述抵頂件由所述第一位置向所述第二位置切換的過程中,所述配合件沿所述抵接斜面滑動,帶動所述密封板沿所述第一方向平移以遠離所述支撐板;在所述第二位置時,所述密封面與所述半導體設備的存儲腔室貼合,以密封所述存儲腔室。
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