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  • 本發明提供一種金屬互連結構的制備方法，包括：提供一基底，基底上具有第一介質層和第一金屬層；在第一金屬層和基底表面形成種子層；在基底上形成犧牲層，在犧牲層中形成電鍍窗口；在電鍍窗口中的種子層上電鍍第二金屬層，藉由電鍍窗口控制第二金屬層的圖案，...
  • 本發明公開了一種基板保持裝置及基板卡盤。該基板保持裝置包括：基座，裝配于基板卡盤的邊緣；支撐部，固定于基座，用于通過設置在其頂部的球面點接觸并支撐基板；導向柱，固定于基座，用于將基板引導并限位于預設位置；夾持件，其活動連接于基座，用于在基板...
  • 本發明提供了一種晶圓的解離吸附控制方法及半導體工藝設備，涉及半導體技術領域，該方法包括：當反應腔室中所述晶圓的加工工藝結束時，關閉射頻電源功率，停止向反應腔室通入反應氣體；其中，晶圓下方持續通入背吹氣體；對晶圓下方的靜電卡盤進行電荷中和控制...
  • 本申請公開了一種半導體濕法清洗設備及其自清洗方法，涉及半導體領域。一種半導體濕法清洗設備，包括：腔體、承載裝置、防護罩和自清洗裝置；所述承載裝置和所述防護罩均設于所述腔體內，所述防護罩圍設于所述承載裝置的外側，所述防護罩包括沿所述腔體的軸向...
  • 本發明提供一種外延層厚度的測量方法，包括：提供一襯底；通過離子注入工藝在襯底中形成摻雜測試區；在襯底上形成外延層，外延層與摻雜測試區具有摻雜濃度差；基于外延層與摻雜測試區的摻雜濃度差，通過傅立葉變換紅外光譜儀對摻雜測試區上的外延層進行厚度檢...
  • 本發明提供一種電子封裝組件和一種形成電子封裝組件的方法。該方法包括：提供具有前向表面和背向表面的封裝基板；通過焊料凸塊將背向導電塊附接到封裝基板的背向表面上；將封裝基板裝載在第一底部模具上，其中背向導電塊面朝上，并利用第一頂部模具使背向導電...
  • 本申請公開了一種半導體工藝方法及半導體工藝設備，涉及半導體領域。一種半導體工藝方法，用于通過工藝藥液對工藝腔體內的晶圓進行工藝處理；所述半導體工藝方法包括：制備濃度為第一濃度，溫度為第一溫度的工藝藥液；將所述工藝腔體內的壓力由常壓增大至預設...
  • 本發明提供了一種等離子體工藝方法及等離子體處理設備，屬于等離子體處理領域，為了保證刻蝕結構的形貌一致性，具體包括通入反應氣體，將基片放入反應腔，激發等離子體后執行刻蝕步驟和修飾步驟，其中將激發等離子體的源射頻的功率和控制方向的偏置射頻的功率...
  • 本發明提供了一種等離子體工藝方法及等離子體處理設備，屬于等離子體處理領域，為了保證刻蝕結構的形貌一致性，具體包括通入反應氣體，將基片放入反應腔，激發等離子體后執行基片刻蝕工藝，并將刻蝕工藝隨著刻蝕深度的推進設為不同的處理階段，每一處理階段都...
  • 本發明公開了一種多晶硅柵極刻蝕方法，利用HBr等離子體云轟擊光阻能使光阻內的鍵能發生質的變化的特性，在對多晶硅柵極刻蝕過程中增加一道只使用HBr的進行線寬修正的步驟，根據工藝整合的需求，利用線寬修正步驟中HBr氣體的注入流量的調節，來減小各...
  • 本申請提供了一種直流斷路器，其中，該方法包括：直流斷路器包括：第一主開關、第二主開關、第一副開關、第二副開關、控制模塊以及電弧抵消模塊，第一主開關與第一副開關之間和第二主開關與第二副開關之間相互耦合，第一主開關的與第二主開關在主回路中串聯，...
  • 一種開關裝置，包括外殼，在外殼內沿第一方向設置有電磁操作系統以及至少一個接觸單元，所述電磁操作系統包括線圈組件和移動組件，所述移動組件與至少一個接觸單元的動觸頭組件驅動連接，所述外殼內還設置有控制線路板，所述控制線路板在第二方向或第三方向上...
  • 本發明公開了一種復合材質電子鋁箔及其制造方法，屬于電子鋁箔制造技術領域。為增加鋁電解電容器陽極鋁箔發孔長度的一致性，提升陽極鋁箔的機械性能及電容量，通過在電子鋁箔生產過程中采取鑄造芯層板錠技術，采用特殊的鑄錠方法，在板錠制備高純鋁芯層，經過...
  • 本申請提供了一種滑動式匝數可變的抽頭線圈，包括：螺旋結構和滑動桿；螺旋結構包括n≥2匝直徑不等的螺旋線圈和補償電容，補償電容串聯在螺旋線圈上；滑動桿包括觸頭和長桿；根據需要接入電路的線圈匝數k，將滑動桿的端部移動到第k匝裸露線圈處，以將k匝...
  • 本發明涉及一種66kV海上風力發電機用油浸式變壓器，包括鐵芯、低壓線圈、高壓線圈和油箱，其中鐵芯、低壓線圈和高壓線圈均設于油箱內，并且低壓線圈套置于鐵芯的對應芯柱上，高壓線圈套置于對應的低壓線圈上，低壓線圈的高度H2大于高壓線圈的高度H1，...
  • 本發明專利公開了一種額定電壓1kV及以下改性聚丙烯絕緣電力電纜及其制造方法，包括主線芯、成纜繞包、內護套、鋼帶鎧裝和外護套，主線芯的絕緣層采用改性聚丙烯作為絕緣材料。改性聚丙烯屬熱塑性材料，可回收再利用，綠色環保，而且改性聚丙烯有較好的耐熱...
  • 本發明提供一種聚合物混合型導體及其制備方法和應用。所述聚合物混合型導體包括導電聚合物、砜類小分子添加劑和電解質鹽；所述砜類小分子添加劑和電解質鹽的質量比為(1?3):(1?3)。本發明將結合電解質鹽的固態砜類小分子導離子組分引入導電聚合物中...
  • 本公開提出一種用于核電廠熱工水力系統的穩態調節方法，包括：獲取對熱工水力系統中泵轉速調整至一回路流量滿足預設一回路流量條件的第一調整次數，對二回路壓力調整至一回路平均溫度滿足預設溫度條件的第二調整次數，對二回路給水流量進行調整至二回路給水流...
  • 本公開提出一種用于核電廠的機組故障檢測方法，包括：在預設時間周期內的每個數據采集時間采集核電廠中目標機組的初始運行數據，目標機組所處目標環境區域的初始環境數據，對多個初始運行數據和與每個初始運行數據對應的數據采集時間進行線性擬合處理，以獲取...
  • 本申請涉及一種檢查序列的參數修改方法、裝置、計算機設備和存儲介質。該方法包括：獲取預設參數集；預設參數集中包括多個參數，參數為多個檢查序列對應的共有參數；針對待處理的檢查序列，從預設參數集中獲取待處理的檢查序列對應的目標參數的參數信息；根據...
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