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  • 本申請公開了一種半導體工藝設備，涉及半導體領域。一種半導體工藝設備，包括：工藝腔室、第一射頻饋入件、第二射頻饋入件、第一匹配器和阻抗可調裝置；工藝腔室包括：腔體和承載裝置，承載裝置設于腔體內，第一射頻饋入件的一端穿入腔體并與承載裝置連接，第...
  • 本發明涉及一種快速切換組合試劑離子的光電離離子遷移譜，包括光電離離子遷移譜、試劑離子發生裝置，試劑分子載氣將試劑分子引入到離子遷移譜的反應區，在正離子模式通過組合切換不同的氣路和試劑分子可以得到不同類型的試劑離子，常規氣流模式下的試劑離子主...
  • 本公開提供了一種鋁鎵氮材料及其制備方法，可以應用于氮化鎵半導體器件領域。該方法包括：利用金屬有機物氣相沉積反應法在襯底10上制備氮化鎵成核層20；通過退火的方式對氮化鎵成核層20進行重結晶處理；利用金屬有機物氣相沉積反應法在重結晶后的氮化鎵...
  • 本發明涉及一種金屬硅化物的制備方法，該方法包括以下步驟：在具有特征器件的含硅襯底上形成金屬層；在具有金屬層的含硅襯底上形成氧化層，且所述氧化層位于所述含硅襯底的邊緣；對所述含硅襯底進行第一退火，以使所述金屬層與所述含硅襯底中的硅反應生成第一...
  • 本發明屬于引線鍵合技術領域，具體涉及一種鍵合工裝，包括支撐臺和固定組件，所述支撐臺用于放置待鍵合的模塊，所述固定組件包括壓板和動力機構，所述壓板朝向支撐臺設置，所述動力機構用于驅動壓板朝靠近或遠離支撐臺的方向移動，且所述壓板中部設置有用于露...
  • 本發明提供了承載裝置的溫度控制方法及半導體工藝設備；其中，該方法包括：對于承載裝置的多個溫區，計算任意相鄰兩個溫區之間的溫度差值，得到多個溫差，將差不大于第一閾值，且，不小于第二閾值的溫差確定為目標溫差；對任一目標溫差，控制目標溫差對應的高...
  • 本申請涉及半導體制造技術領域，提供了一種腔室升溫監測方法及半導體工藝設備。方法包括：獲取影響工藝腔室升溫過程的相關變量的實時數據，以及獲取工藝腔室中加熱部件的實時溫度實際值，其中，相關變量包括連續型變量和數字型變量，數字型變量包括工藝腔室的...
  • 本發明涉及晶圓加工技術領域，提供了一種超臨界晶圓清洗/干燥介質回收方法以及系統，能夠實現高純度的清洗/干燥介質的持續地離回收。其中，該超臨界晶圓清洗/干燥介質回收方法，包括以下步驟：清洗/干燥步驟，利用超臨界態的清洗/干燥介質溶解并帶走晶圓...
  • 本申請提供了一種封裝結構及通信設備，封裝結構包括：基板、芯片、固定件、第一輻射結構和第一介質波導。示例性地，芯片可以為射頻芯片，第一輻射結構可以為天線或其他具有信號發射功能的元件。芯片固定于基板的表面，固定件固定于基板背離芯片一側的表面。固...
  • 本公開實施例涉及半導體技術領域，提供一種半導體結構及其制造方法，半導體結構包括：第一襯底以及位于第一襯底中的半導體器件；多個第一導電墊，連接半導體器件；多個第二導電墊，至少一個第一導電墊和至少一個第二導電墊通過沿垂直于第一襯底的方向延伸的第...
  • 本發明公開了一種鈉離子電池正極漿料及其制備方法，屬于電池技術領域。所述制備方法包括以下步驟：S1：含第一導電劑和正極材料的原料混合、攪拌分散，得到固體粉料；S2：步驟S1中的所述固體粉料、分散助劑溶液和部分量的粘結劑溶液混合，在真空條件下攪...
  • 本發明提供了一種負極材料及其制備方法、負極片、電化學裝置和電子設備。本發明的負極材料包括復合碳材料和鈉離子，所述鈉離子位于所述復合碳材料的表面和/或內部；其中，所述復合碳材料包括碳納米材料和嵌入碳納米材料表面的ZnX，X選自O、S和Se中的...
  • 本發明提供電極用粘合劑組合物的制造方法、電極用粘合劑組合物以及二次電池。電極用粘合劑組合物的制造方法為包含含氟聚合物、電極活性物質、導電材料、以及作為分散介質的水和有機溶劑的電極用粘合劑組合物的制造方法，包括：將所述電極活性物質和所述導電材...
  • 本發明提供一種包含硅基活性物質、在充放電時厚度變化小、即使反復充放電其厚度也不會變大的負極用粘合劑組合物。該負極用粘合劑組合物包含含氟聚合物、硅基負極活性物質、增粘劑和水，上述含氟聚合物具有基于四氟乙烯的單元、但不具有基于偏二氟乙烯的單元，...
  • 本申請提供一種氫燃料電池系統及混合動力汽車。氫燃料電池系統包括電堆總成、空氣系統、氫氣系統、排氣系統以及冷卻系統；空氣系統與氫氣系統分別與電堆總成及排氣系統相連接；空氣系統、氫氣系統及冷卻系統部分與電堆總成集成設置，部分與電堆總成分體設置。...
  • 本申請提供一種氫燃料電池系統及車輛。氫燃料電池系統包括：電堆總成、氫氣處理器及儲氫系統；氫氣處理器包括內部連通的水氣分離部及氣體循環部；電堆總成與水氣分離部之間通過回氫管路連通，電堆總成與氣體循環部之間通過進氫管路連通。本申請在氫燃料電池系...
  • 本申請提供一種氫燃料電池系統及車輛。氫燃料電池系統包括電堆總成、排水總成及集水器，排水總成設置在電堆總成與集水器之間；排水總成包括主排水管路及輔排水管路，主排水管路及輔排水管路分別連通集水器。本申請提供的氫燃料電池系統通過在集水器與電堆總成...
  • 本發明提供了一種用于燃料電池的水淹診斷的方法，其包括：獲取燃料電池電堆的隨時間變化的壓力差信號，其包括在陽極側的進料口與出料口之間隨時間變化的陽極壓力差信號和/或在陰極側的進料口與出料口之間隨時間變化的陰極壓力差信號；將壓力差信號轉換成所述...
  • 本申請提供一種儲氫系統控制方法、裝置、電子設備及車輛，所述儲氫系統控制方法包括：對車載儲氫系統的氫管路進行漏氣檢測；控制出現漏氣故障的目標管路與氫氣源之間的通路切斷，而不是將整個儲氫系統關閉，因此還可以通過其它管路使儲氫系統繼續工作，提升了...
  • 本發明公開了一種全釩液流電池正極電解液和液流電池。正極電解液包括活性物質、支撐電解質和添加劑；活性物質包括VO2 +/VO2+；添加劑包括過渡金屬鹽；過渡金屬鹽中陽離子選自...
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