恭喜總督科技股份有限公司宋茂炎獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜總督科技股份有限公司申請的專利晶圓載盤的卸載裝置及其卸載方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113284831B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-07-04發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010102278.5，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權晶圓載盤的卸載裝置及其卸載方法是由宋茂炎設計研發完成，并于2020-02-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本晶圓載盤的卸載裝置及其卸載方法在說明書摘要公布了：一種晶圓載盤的卸載裝置及其卸載方法，在第一、二機械臂活動范圍內分別建置一載盤、一主校正機構、一晶圓校正機構及一置料機構，在第一機械臂上設有影像攫取組件及晶圓定位件裝卸機構，在第二機械臂上設有晶圓取放機構，利用主校正機構分別校正影像攫取組件、晶圓定位件裝卸機構及晶圓取放機構至正確的位置，由第一機械臂驅動該影像攫取組件移至載盤其中一晶圓盤上方，并調整位置使其正確對應于該晶圓盤，再由第一機械臂驅動該晶圓定位件裝卸機構移至該晶圓盤上，將晶圓盤周緣的晶圓定位件壓環取下，另由第二機械臂驅動該晶圓取放機構將該晶圓盤上的晶圓移至該晶圓校正機構上，經讀取該晶圓的編碼之后，再將該晶圓放入置料機構中。
本發明授權晶圓載盤的卸載裝置及其卸載方法在權利要求書中公布了：1.一種晶圓載盤的卸載裝置，其特征在于，至少包括： 一第一機械臂，連結并受一控制模塊驅動，在該第一機械臂的活動端上至少設有一影像攫取組件； 一第二機械臂，連結并受該控制模塊驅動，在該第二機械臂的活動端上設有一晶圓取放機構； 一載盤，設置于該第一、二機械臂的活動范圍內，且連結并受該控制模塊驅動，該載盤上設有至少一承置晶圓的晶圓盤； 一晶圓校正機構，設置于該第二機械臂的活動范圍內，且連結并受該控制模塊驅動，該晶圓校正機構具有一可供放置晶圓的承置座，在該承置座上方設有一取像單元，以供讀取置入的晶圓的編碼及調整該晶圓的缺口； 一主校正機構，設置于該第一、二機械臂的活動范圍內，且連結并受該控制模塊驅動，以供分別校正該影像攫取組件及晶圓取放機構的位置； 一置料機構，設置于該第二機械臂的活動范圍內，供該第二機械臂置放由該載盤上卸下已加工完成的晶圓。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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