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雅馬哈智能機器控股株式會社宗像広志獲國家專利權

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龍圖騰網獲悉雅馬哈智能機器控股株式會社申請的專利不良檢測裝置以及不良檢測方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115769071B

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-07-04發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202180044011.8,技術領域涉及:G01N29/04;該發明授權不良檢測裝置以及不良檢測方法是由宗像広志;麥可·柯比;足立卓也設計研發完成,并于2021-01-21向國家知識產權局提交的專利申請。

不良檢測裝置以及不良檢測方法在說明書摘要公布了:本發明提供一種不良檢測裝置以及不良檢測方法,能夠利用簡便的結構在短時間進行半導體裸片的接合面的不良檢測。不良檢測裝置,檢測半導體裝置的不良,且包括:超聲波喇叭,對半導體裝置進行超聲波激振;激光光源,向半導體裝置照射平行激光光;照相機,具有攝像元件,所述攝像元件拍攝經平行激光光照射的半導體裝置而獲取圖像;以及檢測部,基于照相機所拍攝的圖像來進行半導體裝置的不良檢測,檢測部基于照相機所獲取的半導體裝置的靜止時的圖像與超聲波振動時的圖像的偏差,來進行半導體裝置的不良檢測。

本發明授權不良檢測裝置以及不良檢測方法在權利要求書中公布了:1.一種不良檢測裝置,檢測檢查對象物的不良,其特征在于包括: 超聲波激振器,對所述檢查對象物進行超聲波激振; 同調光源,向所述檢查對象物照射同調光; 照相機,具有攝像元件,所述攝像元件拍攝經所述同調光照射的所述檢查對象物而獲取圖像;以及 檢測部,基于所述照相機所拍攝的圖像來進行所述檢查對象物的不良檢測, 所述照相機進行拍攝時的曝光時間比所述檢查對象物的超聲波振動的周期更長,獲得包含干涉圖案的圖像,所述干涉圖案是由于經所述檢查對象物的表面反射的所述同調光干涉而產生, 所述檢測部基于包含所述檢查對象物的靜止時的干涉圖案的圖像與包含所述檢查對象物的超聲波振動時的干涉圖案的圖像之間的偏差來確定振動產生像素,將所確定的振動產生像素密集至既定值以上的區域設定為不良區域,檢測不良,其中所述包含所述檢查對象物的靜止時的干涉圖案的圖像與所述包含所述檢查對象物的超聲波振動時的干涉圖案的圖像是由所述照相機所獲取。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人雅馬哈智能機器控股株式會社,其通訊地址為:日本東京武藏村山市伊奈平二丁目51番地之1;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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