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龍圖騰網獲悉嘉興譜鑒精密儀器有限公司申請的專利大孔徑且低畸變的F-theta紫外場鏡裝置獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112817128B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-07-04發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202110137217.7，技術領域涉及：G02B13/00；該發(fā)明授權大孔徑且低畸變的F-theta紫外場鏡裝置是由谷朝臣;韓進厚;程昊;谷朝榜;秦文材設計研發(fā)完成，并于2021-02-01向國家知識產權局提交的專利申請。

本大孔徑且低畸變的F-theta紫外場鏡裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種大孔徑且低畸變的F?theta紫外場鏡裝置，包括：第一透鏡，第二透鏡，第三透鏡，第四透鏡，第五透鏡；所述第一透鏡，第二透鏡，第三透鏡，第四透鏡，第五透鏡從激光入射方向到聚焦平面依次排布；所述第一透鏡采用凹向激光入射方向的平凹透鏡或凸凹透鏡；所述第二透鏡采用凸向聚焦平面的彎月形凹凸透鏡；所述第三透鏡、第四透鏡采用雙凸透鏡；所述第五透鏡采用雙凹透鏡或者平凹透鏡。本發(fā)明提供的大孔徑、低畸變F?theta紫外場鏡，在有效保證入射光束直徑的前提下，實現了大視場、低畸變、高質量掃描。

本發(fā)明授權大孔徑且低畸變的F-theta紫外場鏡裝置在權利要求書中公布了：1.一種大孔徑且低畸變的F-theta紫外場鏡裝置，其特征在于，包括：第一透鏡，第二透鏡，第三透鏡，第四透鏡，第五透鏡； 透鏡的數量為5個； 所述第一透鏡，第二透鏡，第三透鏡，第四透鏡，第五透鏡從激光入射方向到聚焦平面依次排布； 所述第一透鏡采用凹向激光入射方向的平凹透鏡或凸凹透鏡； 所述第二透鏡采用凸向聚焦平面的彎月形凹凸透鏡； 所述第三透鏡、第四透鏡采用雙凸透鏡； 所述第五透鏡采用雙凹透鏡或者平凹透鏡； 所述第一透鏡的焦距f1與場鏡焦距f的比值f1f取值范圍如下： -0.55≤f1f≤-0.35； 所述第二透鏡的焦距f2與場鏡焦距f的比值f2f取值范圍如下： 1.0≤f2f≤1.3； 所述第三透鏡的焦距f3與場鏡焦距f的比值f3f取值范圍如下： 0.5≤f3f≤0.85； 所述第四透鏡的焦距f4與場鏡焦距f的比值f4f、材料折射率Nd4、阿貝爾系數Vd4取值范圍如下： 0.65≤f4f≤0.9,1.45≤Nd4≤1.53，54≤Vd4≤70； 所述第五透鏡的焦距f5與場鏡焦距f的比值f5f、材料折射率Nd5、阿貝爾系數Vd5取值范圍如下： -1.1≤f5f≤-0.8,1.45≤Nd5≤1.53，54≤Vd5≤70。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人嘉興譜鑒精密儀器有限公司，其通訊地址為：314299 浙江省嘉興市平湖市經濟技術開發(fā)區(qū)新興二路988號7號樓103室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。