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恭喜杭州廣立測試設備有限公司王闖獲國家專利權

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龍圖騰網恭喜杭州廣立測試設備有限公司申請的專利晶圓的測試方法、裝置和存儲介質獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119916189B

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-07-04發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510406576.6,技術領域涉及:G01R31/28;該發明授權晶圓的測試方法、裝置和存儲介質是由王闖;王弘設計研發完成,并于2025-04-02向國家知識產權局提交的專利申請。

晶圓的測試方法、裝置和存儲介質在說明書摘要公布了:本發明提供了一種晶圓的測試方法、裝置和存儲介質,包括:獲取測試數據文件,獲取待測晶圓的測試數據文件,對待測晶圓的待測裸片進行測試,得到待測晶圓的初始測試結果;根據初始測試結果確定待測晶圓的復測區域;復測區域根據未通過測試待測裸片的偏移確定,復測區域包括至少一個未測試的裸片;根據復測區域的裸片信息對待測晶圓進行測試,得到待測晶圓的復測結果。在測試過程中不需要更換測試數據文件的同時,支持循環測試,且每次測試可動態獲取不同的測試裸片坐標,從而縮短測試時間,減少硬件使用損耗,提高良品率的準確性。

本發明授權晶圓的測試方法、裝置和存儲介質在權利要求書中公布了:1.一種晶圓的測試方法,其特征在于,所述方法包括: 獲取待測晶圓的測試數據文件,對所述待測晶圓的待測裸片進行測試,得到所述待測晶圓的初始測試結果; 根據所述初始測試結果確定所述待測晶圓的復測區域;所述復測區域根據未通過測試待測裸片的偏移確定,所述復測區域包括至少一個未測試的裸片; 根據所述復測區域的裸片信息對所述待測晶圓進行測試,得到所述待測晶圓的復測結果; 所述待測晶圓劃分為多個測試區域,初始測試結果包括所述待測晶圓的第一合格率,以及多個所述測試區域對應的多個第二合格率;根據所述初始測試結果確定所述待測晶圓的復測區域,包括:根據所述第一合格率和多個所述第二合格率,確定所述待測晶圓或所述測試區域為復測對象;根據所述復測對象中未通過測試的待測裸片確定復測區域; 根據所述初始測試結果確定所述待測晶圓的復測區域,包括:若所述第一合格率符合要求,多個所述第二合格率中存在不符合要求的待復測合格率,則確定待復測合格率對應的測試區域為復測對象;根據復測對象中未通過測試的待測裸片,確定復測區域;若所述第一合格率不符合要求,則確定所述待測晶圓為復測對象;根據復測對象中所有的待測裸片,確定復測區域。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人杭州廣立測試設備有限公司,其通訊地址為:310012 浙江省杭州市西湖區西斗門路3號天堂軟件園A幢1樓1106室;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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