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龍圖騰網(wǎng)恭喜應(yīng)用材料公司申請(qǐng)的專利基板清洗裝置及其方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113498548B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-24發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202080017390.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)基板清洗裝置及其方法是由S·M·蘇尼卡;J·古魯薩米;J·蘭加拉簡(jiǎn)設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-01-30向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本基板清洗裝置及其方法在說明書摘要公布了：基板清洗裝置可包含被配置成固持基板的腔室主體以及刷組件。刷組件可包含第一滾筒、第二滾筒和在第一滾筒與第二滾筒之間延伸的帶。第一滾筒和第二滾筒中的至少一者可在第一位置與第二位置之間可移動(dòng)，在第一位置處帶接觸設(shè)置在腔室主體中的基板的第一表面，在第二位置處帶與第一表面間隔開。公開了其他基板清洗裝置和清洗基板的方法。

本發(fā)明授權(quán)基板清洗裝置及其方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基板清洗裝置，包括： 腔室主體，所述腔室主體被配置成固持基板； 第一刷組件，所述第一刷組件包含第一滾筒、第二滾筒、第三滾筒、以及在所述第一滾筒、所述第二滾筒與所述第三滾筒之間延伸的第一帶，其中所述第一帶包含在所述第一刷組件的所述第二滾筒與所述第三滾筒之間的第一直線區(qū)段，并且其中所述第一刷組件的所述第二滾筒和所述第三滾筒能在第一位置與第二位置之間移動(dòng)，在所述第一位置處所述第一刷組件的所述第二滾筒和所述第三滾筒經(jīng)由所述第一帶與所述基板相鄰，使得所述第一帶的整個(gè)所述第一直線區(qū)段接觸設(shè)置在所述腔室主體中的基板的第一表面，在所述第二位置處所述第一帶與所述第一表面間隔開；以及 第二刷組件，所述第二刷組件包含第一滾筒、第二滾筒、第三滾筒、以及在所述第一滾筒、所述第二滾筒與所述第三滾筒之間延伸的第二帶，其中所述第二帶包含在所述第二刷組件的所述第二滾筒與所述第三滾筒之間的第一直線區(qū)段，并且其中所述第二刷組件的所述第二滾筒和所述第三滾筒能在第一位置與第二位置之間移動(dòng)，在所述第一位置處所述第二刷組件的所述第二滾筒和所述第三滾筒經(jīng)由所述第二帶與所述基板相鄰，使得所述第二帶的整個(gè)所述第一直線區(qū)段接觸所述基板的第二表面，在所述第二位置處所述第二帶與所述第二表面間隔開。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人應(yīng)用材料公司，其通訊地址為：美國(guó)加利福尼亞州；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。