恭喜奧寶科技有限公司M·阿爾特曼獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜奧寶科技有限公司申請的專利使用薄施體箔的LIFT印刷獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN113767451B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-20發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202080032698.9,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/02;該發(fā)明授權(quán)使用薄施體箔的LIFT印刷是由M·阿爾特曼;Z·科特勒;I·佩萊德;O·葉爾馬克;S·科恩設(shè)計研發(fā)完成,并于2020-05-04向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本使用薄施體箔的LIFT印刷在說明書摘要公布了:印刷設(shè)備包含施體供應(yīng)組合件,其定位具有相對的第一及第二表面以及形成在所述第二表面上的施體膜的透明施體襯底,使得所述施體膜接近受體襯底上的目標(biāo)區(qū)域。光學(xué)組合件引導(dǎo)激光輻射的一或多個光束穿過所述施體襯底的所述第一表面并照射所述施體膜,以便誘導(dǎo)材料從所述施體膜噴射到所述受體襯底上。提供用于減輕或補(bǔ)償激光輻射跨所述施體襯底的區(qū)域的反射的變化的構(gòu)件,以便使跨所述施體襯底的所述區(qū)域在所述施體膜中吸收的所述激光輻射的通量等化。
本發(fā)明授權(quán)使用薄施體箔的LIFT印刷在權(quán)利要求書中公布了:1.一種印刷設(shè)備,其包括: 施體供應(yīng)組合件,其經(jīng)配置以定位具有相對的第一表面及第二表面以及在所述第二表面上形成的施體膜的透明施體襯底,使得所述施體膜接近受體襯底上的目標(biāo)區(qū)域; 光學(xué)組合件,其經(jīng)配置以引導(dǎo)激光輻射的一或多個光束穿過所述施體襯底的所述第一表面并照射所述施體膜,以便誘導(dǎo)材料從所述施體膜噴射到所述受體襯底上; 監(jiān)測組合件,其經(jīng)配置以測量所述激光輻射跨所述施體襯底的區(qū)域的反射的變化;及 控制器,其經(jīng)配置以響應(yīng)于所述所測量的變化調(diào)整所述激光輻射的強(qiáng)度,以便使跨所述施體襯底的所述區(qū)域在所述施體膜中吸收的所述激光輻射的通量等化。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人奧寶科技有限公司,其通訊地址為:以色列雅夫內(nèi)城;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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