恭喜拓荊科技股份有限公司王曉晨獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜拓荊科技股份有限公司申請的專利鋁合金部件制造方法及半導體反應腔獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114360998B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-20發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111618005.7，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權鋁合金部件制造方法及半導體反應腔是由王曉晨;談太德;郭月設計研發完成，并于2021-12-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本鋁合金部件制造方法及半導體反應腔在說明書摘要公布了：本發明提供了鋁合金部件制造方法及半導體反應腔，包含：將鋁合金進行鍛造或熱軋；在所述鍛造或所述熱軋的過程中，藉由控制變形度及或制造溫度以構成復數個鋁合金部件，所述等鋁合金部件至少為配置于所述半導體反應腔中的一上極板、一下極板、一檔板、輸送氟離子的一管路及所述半導體反應腔之內壁的其中之一者；其中，在一使用所述氟離子清洗半導體反應腔的過程中，所述等鋁合金部件的表面與所述氟離子反應形成氟化鋁。本發明能有效減少氟化鋁的增長速度，使鋁合金部件有更長的使用壽命。此外，本發明還提供了一種半導體反應腔。
本發明授權鋁合金部件制造方法及半導體反應腔在權利要求書中公布了：1.一種鋁合金部件的制造方法，所述鋁合金部件應用于半導體反應腔中，其特征在于，包含： 在鍛造或熱軋的過程中，藉由控制變形度和或制造溫度的方式，形成一晶粒范圍介于300μm-5000μm的長晶粒的鋁合金部件，其中，所述鋁合金部件至少為配置于所述半導體反應腔中的一上電極板、一下電極板、一擋板、輸送氟離子的一管路及所述半導體反應腔之內壁的其中之一者；以及 對所述鋁合金部件進行機械加工，調整所述鋁合金部件的一表面的晶格方向，以使所述表面在一使用氟離子清洗半導體反應腔的過程中，與所述氟離子反應形成致密的氟化鋁來阻擋所述氟離子向所述鋁合金部件的內部擴散。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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