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龍圖騰網(wǎng)恭喜上海邦芯半導(dǎo)體科技有限公司申請的專利具有異常監(jiān)控的工藝進流系統(tǒng)、監(jiān)控方法及工藝設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120007962B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-20發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510481846.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：F17D1/04；該發(fā)明授權(quán)具有異常監(jiān)控的工藝進流系統(tǒng)、監(jiān)控方法及工藝設(shè)備是由沈康;涂樂義;梁潔;王兆祥;周正;桂智謙設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-04-17向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本具有異常監(jiān)控的工藝進流系統(tǒng)、監(jiān)控方法及工藝設(shè)備在說明書摘要公布了：本公開涉及半導(dǎo)體處理技術(shù)領(lǐng)域，提供具有異常監(jiān)控的工藝進流系統(tǒng)、監(jiān)控方法及工藝設(shè)備。系統(tǒng)包括第一和第二管路單元、控制單元和監(jiān)控單元，第一管路和第二管路分別設(shè)置管路閥、質(zhì)量流量控制器及流量監(jiān)測器。工藝進流系統(tǒng)執(zhí)行預(yù)設(shè)工藝流程中的進流。監(jiān)控單元基于質(zhì)量流量控制器及流量監(jiān)測器的流量信號的時序分布情況、波動幅值的分析確定成核工藝步驟和主沉積步驟中的進流異常。由此，實現(xiàn)對異常情況的及時監(jiān)控，提升工藝可靠性及產(chǎn)品良率。

本發(fā)明授權(quán)具有異常監(jiān)控的工藝進流系統(tǒng)、監(jiān)控方法及工藝設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種具有異常監(jiān)控的工藝進流系統(tǒng)，其特征在于，包括：第一管路單元，包括用于向反應(yīng)腔輸送第一還原流體的第一管路；所述第一管路從輸入端至輸出端依次設(shè)置有第一質(zhì)量流量控制器、第一管路閥及第一流量監(jiān)測器；第二管路單元，包括用于向反應(yīng)腔輸送供與所述第一還原流體反應(yīng)以形成薄膜沉積的沉積反應(yīng)流體；第二管路從輸入端向輸出端依次設(shè)置有第二質(zhì)量流量控制器、第二管路閥及第二流量監(jiān)測器；控制單元，用于控制預(yù)設(shè)工藝流程中的進流，所述預(yù)設(shè)工藝流程包括沉積流程，所述沉積流程包括循環(huán)執(zhí)行的成核工藝步驟，在每個所述成核工藝步驟中，第一管路單元及第二管路單元之間交替地執(zhí)行第一還原流體和沉積反應(yīng)流體對反應(yīng)腔的脈沖式的進流動作；監(jiān)控單元，與所述第一質(zhì)量流量控制器、第一流量監(jiān)測器、第二質(zhì)量流量控制器、第二流量監(jiān)測器通信連接，用于執(zhí)行以下監(jiān)測方式：在循環(huán)執(zhí)行的成核工藝步驟中，從第一質(zhì)量流量控制器和第二質(zhì)量流量控制器所感測的實際流量的流量信號中分別識別與脈沖式的進流動作的流量變化特征相符的第一流量特征曲線波形和第二流量特征曲線波形；根據(jù)第一流量特征曲線波形及第二流量特征曲線波形的時序分布確定是否存在進流異常；在循環(huán)執(zhí)行的成核工藝步驟中，從所述第一流量監(jiān)測器和第二流量監(jiān)測器所監(jiān)測的進入反應(yīng)腔流量的流量信號中識別對應(yīng)第一還原流體的脈沖式進流動作的第一流量脈沖、及對應(yīng)第一還原流體的脈沖式進流動作的第二流量脈沖，根據(jù)第一流量脈沖和第二流量脈沖的時序分布確定是否存在進流異常；在所述沉積流程中，根據(jù)進流的流體所在管路的質(zhì)量流量控制器和或流量監(jiān)測器所得到的流量信號的波動幅值的穩(wěn)定性，確定是否存在對應(yīng)流體的進流異常。

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