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龍圖騰網(wǎng)恭喜朗姆研究公司申請(qǐng)的專利用于處理半導(dǎo)體襯底的方法及設(shè)備獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113169043B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-24發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：201980082628.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/02；該發(fā)明授權(quán)用于處理半導(dǎo)體襯底的方法及設(shè)備是由丹尼爾·布賴恩;卡爾-海因茨·霍恩沃特;伯恩哈德·洛伊德?tīng)?赫爾穆特·洛伊;阿努爾夫·卡斯特納;邁克爾·克萊姆;托馬斯·科米特設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2019-12-11向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本用于處理半導(dǎo)體襯底的方法及設(shè)備在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明涉及適合用于修復(fù)或避免半導(dǎo)體襯底上的高深寬比結(jié)構(gòu)的摩擦的氣體輸送系統(tǒng)和方法。氣體輸送系統(tǒng)和方法經(jīng)由經(jīng)加熱的供給線201將鹵化氫、汽化的溶劑、以及載氣的混合物輸送至襯底，以避免在氣體混合物的運(yùn)送期間形成液滴。氣體混合物供給線優(yōu)選地保持在包含清掃氣體供給線204的導(dǎo)管202內(nèi)，使得經(jīng)由氣體混合物供給線201所泄漏的任何鹵化氫可被導(dǎo)管內(nèi)的清掃氣體流帶走。在這樣的實(shí)施方案中，清掃氣體還優(yōu)選地被加熱并用來(lái)作為加熱氣體混合物供給線的分配出口的措施。

本發(fā)明授權(quán)用于處理半導(dǎo)體襯底的方法及設(shè)備在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種用于將氣體混合物分配至襯底上的氣體輸送系統(tǒng)，其包含： 鹵化氫供給線，其連接至鹵化氫源； 汽化溶劑供給線，其連接至溶劑源；及 載氣供給線，其連接至一載氣源； 其中： 所述汽化溶劑供給線和所述載氣供給線組合以形成VSCG混合物供給線； 所述VSCG混合物供給線和所述鹵化氫供給線組合以形成HHVSCG混合物供給線； 所述HHVSCG混合物供給線包含用于將所述HHVSCG混合物分配至襯底上的分配出口；以及 所述系統(tǒng)包含加熱器以加熱使用中的所述HHVSCG混合物供給線； 其中所述HHVSCG混合物供給線是保持在導(dǎo)管中的氣體輸送管，且其中所述導(dǎo)管包含清掃氣體供給線，所述清掃氣體供給線被配置成使所述清掃氣體能經(jīng)由所述導(dǎo)管流過(guò)所述氣體輸送管的外表面上方，以清掃通過(guò)在使用中的所述氣體輸送管的壁所逸出的任何鹵化氫。

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