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龍圖騰網恭喜河南百合特種光學研究院有限公司申請的專利一種提高光照均勻度的調節鏡組及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120010200B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-20發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510500693.9，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權一種提高光照均勻度的調節鏡組及方法是由張博;張品祥;何錄偉;劉玉偉設計研發完成，并于2025-04-21向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種提高光照均勻度的調節鏡組及方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種提高光照均勻度的調節鏡組及方法，包括一種提高光照均勻度的調節鏡組，該鏡組包括第一透鏡、第二透鏡、鏡筒、光纖固定座和三維調節機構，第一透鏡和第二透鏡均為平凸透鏡，第一透鏡和第二透鏡分別設置在透鏡鏡座內，透鏡鏡座設置在鏡筒內，且兩透鏡的凸面相對設置，鏡筒的上端設置有光纖安裝鏡筒，光纖固定座安裝在光纖安裝鏡筒內，三維調節機構設置在光纖安裝鏡筒和光纖固定座之間，三維調節機構包括旋緊螺母、固定螺母和球頭六角調節器；該鏡組的調節方法簡單，且成本低，以解決現有激光直接成像光刻系統中，由于光纖激光器出光不穩定及調節精度不足，導致曝光光斑能量分布不均勻、產品良率降低等問題。

本發明授權一種提高光照均勻度的調節鏡組及方法在權利要求書中公布了：1.一種提高光照均勻度的調節方法，其特征在于：包括一種提高光照均勻度的調節鏡組，該鏡組包括第一透鏡（9）、第二透鏡（10）、鏡筒（11）、光纖固定座（5）和三維調節機構，第一透鏡（9）和第二透鏡（10）分別設置在透鏡鏡座（1）內，透鏡鏡座（1）設置在鏡筒（11）內，且兩透鏡的凸面相對設置，鏡筒（11）的上端設置有光纖安裝鏡筒（3），光纖固定座（5）安裝在光纖安裝鏡筒（3）內，三維調節機構設置在光纖安裝鏡筒（3）和光纖固定座（5）之間，三維調節機構包括旋緊螺母（4）、固定螺母（8）和球頭六角調節器（2），固定螺母（8）設置在光纖安裝鏡筒（3）中，且光纖固定座（5）安裝在固定螺母（8）上，所述調節方法包括以下具體步驟：步驟一：安裝光學鏡組，第一透鏡（9）和第二透鏡（10）分別裝在透鏡鏡座（1）里，使第一透鏡（9）和第二透鏡（10）以凸面相對的方式通過透鏡鏡座（1）裝配在鏡筒（11）內，形成雙透鏡組合系統；步驟二：三維調節機構的安裝，把螺紋襯套（7）裝入光纖安裝鏡筒（3）中，再把球頭六角調節器（2）裝入螺紋襯套（7）內，把光纖安裝鏡筒（3）用連接螺釘（12）固定在鏡筒（11）上，光纖固定座（5）安裝在固定螺母（8）上，固定螺母（8）放入光纖安裝鏡筒（3）內，用球頭六角調節器（2）緊固固定螺母（8），旋緊螺母（4）旋入光纖固定座（5）上，然后擰緊螺帽（6）；步驟三：X、Y方向調節，微松其中的一個方向的球頭六角調節器（2），然后擰緊對面的球頭六角調節器（2），利用此方式調節偏心；步驟四：Z方向調節，先用扳手通過旋緊螺母調節孔（14）松動旋緊螺母（4），再用扳手通過固定座調節孔（13）旋轉調節光纖固定座（5）高度；步驟五：鎖緊操作，完成三維調節后，利用雙螺母結構鎖緊Z向調節位置，可以采用扳手通過旋緊螺母調節孔（14）緊固旋緊螺母（4），通過球頭六角調節器（2）鎖緊X、Y方向的調節位置，固定其位置后，再旋緊螺帽（6）。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人河南百合特種光學研究院有限公司，其通訊地址為：453000 河南省新鄉市紅旗區東卓路9號(新東光電信息產業園1號、2號廠房)；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。