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龍圖騰網恭喜美新半導體(天津)有限公司申請的專利傳感器芯片及懸橋式傳感器結構的制造方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112429698B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-17發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011378399.9，技術領域涉及：B81B7/02；該發明授權傳感器芯片及懸橋式傳感器結構的制造方法是由凌方舟;劉堯;蔣樂躍;儲莉玲設計研發完成，并于2020-11-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本傳感器芯片及懸橋式傳感器結構的制造方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種傳感器芯片及懸橋式傳感器結構的制造方法，傳感器芯片為集成熱式加速度和紅外傳感器的單芯片，其包括第一晶圓部，第一晶圓部包括：第一襯底；第一腔體，其設置于第一襯底中，第一腔體內密封有填充氣體，填充氣體為對特定紅外光譜不吸收或者吸收較少的氣體；懸橋式傳感器結構，其設置于第一襯底的正面且與第一腔體相對，其可切換為加速度檢測或紅外檢測模式；信號處理電路，其設置于第一襯底的正面，其用于對懸橋式傳感器結構產生的傳感信號進行處理。與現有技術相比，本發明共享相同的傳感器結構，可以在加速度測量與紅外溫度探測之間切換，分別實現對加速度和溫度的測量，從而提升集成度，降低芯片占用面積和使用成本。

本發明授權傳感器芯片及懸橋式傳感器結構的制造方法在權利要求書中公布了：1.一種集成熱式加速度和紅外傳感器的單芯片，其特征在于，其包括第一晶圓部，所述第一晶圓部包括： 第一襯底； 第一腔體，其設置于所述第一襯底中，所述第一腔體內密封有填充氣體，所述填充氣體為對特定紅外光譜不吸收或者吸收較少的氣體； 懸橋式傳感器結構，其設置于所述第一襯底的正面且與所述第一腔體相對，其可切換為加速度檢測模式或紅外檢測模式，所述懸橋式傳感器結構包括：支撐層，其位于所述第一襯底的正面且位于所述第一腔體上方；熱電堆，其包括第一熱電堆單元、第二熱電堆單元、第三熱電堆單元和第四熱電堆單元，所述第一熱電堆單元和第二熱電堆單元設置于x軸方向，且分別位于所述第一腔體的相對的第一側邊和第二側邊，所述第三熱電堆單元和第四熱電堆單元設置于y軸方向，且分別位于所述第一腔體的相對的第三側邊和第四側邊，其中，x軸和y軸組成直角坐標系；加熱器，其布置于所述懸橋式傳感器結構的中部； 信號處理電路，其設置于所述第一襯底的正面，其用于對所述懸橋式傳感器結構產生的傳感信號進行處理； 當處于加速度檢測模式時，對所述加熱器施加電流以加熱所述填充氣體，所述信號處理電路基于第一熱電堆單元和第二熱電堆單元輸出的電壓信號的差值，獲取在x軸方向的加速度；所述信號處理電路基于第三熱電堆單元和第四熱電堆單元輸出的電壓信號的差值，獲取在y軸方向的加速度， 當處于紅外溫度檢測模式時，關閉所述加熱器，通過開關將第一熱電堆單元、第二熱電堆單元、第三熱電堆單元和第四熱電堆單元輸出的電壓信號串聯起來，使所述熱電堆輸出總電壓信號，所述信號處理電路基于所述熱電堆輸出的總電壓信號，獲取紅外溫度。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人美新半導體(天津)有限公司，其通訊地址為：300450 天津市濱海新區臨港經濟區臨港怡灣廣場3-208-01號、3-208-02號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。