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恭喜西北工業(yè)大學(xué)馬志波獲國家專利權(quán)

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龍圖騰網(wǎng)恭喜西北工業(yè)大學(xué)申請的專利微流道式壓振復(fù)合光纖F-P傳感器及其制備方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN119984358B

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202510461512.6,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G01D5/353;該發(fā)明授權(quán)微流道式壓振復(fù)合光纖F-P傳感器及其制備方法是由馬志波;耿浩宇;郭效丁;喜奇;田智勇設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2025-04-14向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

微流道式壓振復(fù)合光纖F-P傳感器及其制備方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明涉及一種微流道式壓振復(fù)合光纖F?P傳感器及其制備方法,傳感器包括第一結(jié)構(gòu)層、第二結(jié)構(gòu)層和第三結(jié)構(gòu)層,第三結(jié)構(gòu)層包括硅片,硅片上設(shè)置有微流道組、進(jìn)水孔和光纖通道孔,進(jìn)水孔貫通硅片且與微流道組連通,第二結(jié)構(gòu)層包括玻璃片,玻璃片的外周邊緣設(shè)置有若干腔孔和光纖通道槽,光纖通道槽與一部分腔孔貫通,玻璃片的一側(cè)貼合硅片的一側(cè)使腔孔的一端與微流道組的外周連通,第一結(jié)構(gòu)層包括硅層膜片,硅層膜片一側(cè)貼合玻璃片另一側(cè)將腔孔另一端封閉使腔孔形成F?P腔體,一部分F?P腔體內(nèi)貼合有質(zhì)量塊,本發(fā)明通過微流道組與腔體相連通,當(dāng)水通過進(jìn)水孔進(jìn)入微流道組內(nèi),微流道組一端的腔體內(nèi)空氣被壓縮,壓強(qiáng)增大,降低了腔體內(nèi)外壓差。

本發(fā)明授權(quán)微流道式壓振復(fù)合光纖F-P傳感器及其制備方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種微流道式壓振復(fù)合光纖F-P傳感器,其特征在于,包括層疊貼合的第一結(jié)構(gòu)層、第二結(jié)構(gòu)層和第三結(jié)構(gòu)層,所述第三結(jié)構(gòu)層包括硅片,所述硅片上設(shè)置有微流道組(1)、進(jìn)水孔(2)和光纖通道孔,所述微流道組(1)位于所述硅片的一側(cè),所述微流道組(1)從所述硅片的中部向外周延伸,所述進(jìn)水孔(2)貫通所述硅片且與所述微流道組(1)連通;所述第二結(jié)構(gòu)層包括玻璃片,所述玻璃片的外周邊緣部設(shè)置有若干腔孔,所述玻璃片的外周還設(shè)置有光纖通道槽與一部分相應(yīng)的所述腔孔貫通,所述玻璃片的一側(cè)貼合所述硅片的一側(cè)使所述腔孔的一端與所述微流道組(1)的外周連通,所述光纖通道孔的一端與另一部分相應(yīng)的所述腔孔貫通;所述第一結(jié)構(gòu)層包括硅層膜片,所述硅層膜片的一側(cè)貼合所述玻璃片的另一側(cè)將每個所述腔孔的另一端封閉使所述腔孔形成F-P腔體。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人西北工業(yè)大學(xué),其通訊地址為:710072 陜西省西安市碑林區(qū)友誼西路127號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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