恭喜安徽萬瑞冷電科技有限公司尹國慶獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜安徽萬瑞冷電科技有限公司申請的專利一種半導體用寬溫區變溫循環溫控系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120008256B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510495033.6，技術領域涉及：F25B49/00；該發明授權一種半導體用寬溫區變溫循環溫控系統是由尹國慶;王沛;滕健;郭繼晨;周家屹;任琪琛;胡居利;丁懷況;章學華;盧毛磊;李陽設計研發完成，并于2025-04-21向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種半導體用寬溫區變溫循環溫控系統在說明書摘要公布了：本發明公開了一種半導體用寬溫區變溫循環溫控系統，采用回熱閉式循環結構設計，將冷源單元和分配單元的主要管路分別放置在閥箱內，并對閥箱內部進行抽空使其形成真空環境，降低管路內部殘余氣體分子的對流換熱，減少低溫工質的漏熱，保證氮氣的回氣低溫溫度，從而最大限度實現冷量回收和節能利用；在分配閥箱內設置節流閥，通過減壓的方式有效將分配閥箱內的溫度進一步降低，有效擴大了系統應用溫區；同時，在冷源閥箱和分配閥箱內設置了三級預冷管路，在系統運行初期對冷源閥箱、分配閥箱和節流閥進行分級預冷，保證半導體生產過程中低溫注入效率。
本發明授權一種半導體用寬溫區變溫循環溫控系統在權利要求書中公布了：1.一種半導體用寬溫區變溫循環溫控系統，包括：低溫冷源單元和低溫分配單元，其特征在于， 低溫分配單元包括分配閥箱（5）和第二真空泵（6），第二真空泵（6）用于對分配閥箱（5）抽真空，分配閥箱（5）上設有與靶盤連接的冷量出口和回熱進口以及與低溫冷源單元連接的第二冷量進口和第二回熱出口，分配閥箱（5）內設有低溫節流閥（7）、二級預冷管路（12）和三級預冷管路（13），低溫節流閥（7）位于所述冷量出口與第二冷量進口之間的管路上，二級預冷管路（12）兩端分別連接低溫節流閥（7）上游管路和所述回熱進口和第二回熱出口之間的管路，三級預冷管路（13）兩端分別連接低溫節流閥（7）下游管路和所述回熱進口和第二回熱出口之間的管路。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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