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恭喜艾科系統公司肖恩·約瑟夫·彭利獲國家專利權

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龍圖騰網恭喜艾科系統公司申請的專利層流限制器獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114586477B

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-10發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202080057722.4,技術領域涉及:H05K7/20;該發明授權層流限制器是由肖恩·約瑟夫·彭利;扎卡賴亞·伊齊基爾·麥金太爾;泰勒·詹姆斯·賴特設計研發完成,并于2020-08-05向國家知識產權局提交的專利申請。

層流限制器在說明書摘要公布了:用于控制氣流的設備是輸送用于半導體制造的工藝氣體的重要部件。這些用于控制氣流的設備經常依賴于流量限制器,該流量限制器可以提供工藝氣體的已知流動阻抗。在一個實施例中,公開了一種流量限制器,該流量限制器由多個層構成,其中一個或多個層具有從該流量限制器的第一端處的第一孔延伸到位于該流量限制器的第二端處的第二孔的流動通道。

本發明授權層流限制器在權利要求書中公布了:1.一種用于限制氣體流動的流量限制器,該流量限制器包括:第一端;第二端,從所述第一端延伸到所述第二端的縱向軸線;多個第一層,其沿所述縱向軸線從所述第一端延伸至所述第二端;多個第二層,其沿所述縱向軸線從所述第一端延伸至所述第二端;第一孔,其在由所述多個第一層和所述多個第二層限定的所述第一端處;第二孔,其在由所述多個第一層和所述多個第二層限定的所述第二端處;其中,流動通道由所述多個第一層和所述多個第二層限定,所述流動通道從所述第一孔延伸到所述第二孔;以及其中,所述多個第一層中的每一層包括第一側、與所述第一側相對的第二側、第三側、與所述第三側相對的第四側、正面和相對的背面,所述流動通道包括形成在每個所述第一層的正面中的縱向通道;每個所述第一層的縱向通道從所述正面延伸穿過所述第一層并到其相對的背面。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人艾科系統公司,其通訊地址為:美國得克薩斯州78728奧斯汀市帕克路200C號600室;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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