恭喜上海交通大學谷朝臣獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜上海交通大學申請的專利355nm F-theta紫外場鏡光路構造裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN112859293B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-10發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202110192601.7,技術領域涉及:G02B13/00;該發明授權355nm F-theta紫外場鏡光路構造裝置是由谷朝臣;王臻設計研發完成,并于2021-02-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本355nm F-theta紫外場鏡光路構造裝置在說明書摘要公布了:本發明提供了一種355nmF?theta紫外場鏡光路構造裝置,包括:第一透鏡部件、第二透鏡部件、第三透鏡部件、第四透鏡部件、入射光闌以及聚焦平面;所述第一透鏡部件采用凸向聚焦平面的凸凹透鏡;所述第二透鏡部件采用凸向聚焦平面的彎月形凹凸透鏡;所述第三透鏡部件采用凸向聚焦平面的彎月形凹凸透鏡;所述第四透鏡部件采用凸向激光入射方向的彎月形凹凸透鏡;所述入射光闌、第一透鏡部件、第二透鏡部件、第三透鏡部件、第四透鏡部件依次設置于355nmF?theta紫外場鏡光路構造裝置中。本發明通過合理的光路構型,在有效保證入射光束直徑的情況下,實現了大視場、高質量掃描。
本發明授權355nm F-theta紫外場鏡光路構造裝置在權利要求書中公布了:1.一種355nmF-theta紫外場鏡光路構造裝置,其特征在于,包括:第一透鏡部件、第二透鏡部件、第三透鏡部件、第四透鏡部件、入射光闌以及聚焦平面;所述透鏡部件的數量為4個;所述第一透鏡部件采用凸向聚焦平面的凸凹透鏡;所述第二透鏡部件采用凸向聚焦平面的彎月形凹凸透鏡;所述第三透鏡部件采用凸向聚焦平面的彎月形凹凸透鏡;所述第四透鏡部件采用凸向激光入射方向的彎月形凹凸透鏡;所述入射光闌、第一透鏡部件、第二透鏡部件、第三透鏡部件、第四透鏡部件依次設置于355nmF-theta紫外場鏡光路構造裝置中;所述第一透鏡部件的焦距f1與場鏡焦距f的比值f1f的取值如下:-0.41≤f1f≤-0.28;所述第二透鏡部件的焦距f2與場鏡焦距f的比值f2f的取值如下:0.85≤f2f≤1.2;所述第三透鏡部件的焦距f3與場鏡焦距f的比值f3f的取值如下:0.45≤f3f≤0.86;所述第四透鏡部件的焦距f4與場鏡焦距f的比值f4f的取值如下:1.72≤f4f≤3.45。
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