恭喜穩懋半導體股份有限公司翁國隆獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜穩懋半導體股份有限公司申請的專利體聲波共振器及其形成方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114696768B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-10發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110941171.4，技術領域涉及：H03H3/02；該發明授權體聲波共振器及其形成方法是由翁國隆;張家達;謝子笙;魏君如設計研發完成，并于2021-08-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本體聲波共振器及其形成方法在說明書摘要公布了：本發明實施例提供一種體聲波共振器及其形成方法。前述體聲波共振器的形成方法包括：形成犧牲結構在基板上，形成晶種層在犧牲結構上，形成底電極在晶種層上，形成壓電層在底電極上，形成頂電極在壓電層上，移除犧牲結構以形成空腔，經由空腔刻蝕晶種層。本發明實施例在形成底電極與壓電層之后，選擇性地移除在體聲波共振器的主動區域中的晶種層。因此，可以在不讓底電極與壓電層的品質劣化的情況下，改善體聲波共振器的品質因數及或機電耦合系數。
本發明授權體聲波共振器及其形成方法在權利要求書中公布了：1.一種體聲波共振器的形成方法，其特征在于，包括：形成一犧牲結構在一基板上；形成一晶種層在該犧牲結構上；形成一底電極在該晶種層上；形成一壓電層在該底電極上；形成一頂電極在該壓電層上；移除該犧牲結構以形成一空腔；經由該空腔刻蝕該晶種層；以及形成一開口在該晶種層中，且該開口暴露該底電極的一底表面的至少一部分及該底電極的一底表面。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人穩懋半導體股份有限公司，其通訊地址為：中國臺灣桃園市；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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