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龍圖騰網(wǎng)恭喜豪威科技(上海)有限公司申請(qǐng)的專利雙轉(zhuǎn)換增益圖像傳感器及其制作方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113937119B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-10發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111109036.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H10F39/12；該發(fā)明授權(quán)雙轉(zhuǎn)換增益圖像傳感器及其制作方法是由饒金華;肖海波;慎邦威設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-09-22向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本雙轉(zhuǎn)換增益圖像傳感器及其制作方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明提供一種雙轉(zhuǎn)換增益圖像傳感器。該雙轉(zhuǎn)換增益圖像傳感器包括半導(dǎo)體襯底，該半導(dǎo)體襯底包括相互隔離的第一有源區(qū)和第二有源區(qū)；浮置擴(kuò)散區(qū)域設(shè)置于第一有源區(qū)中；輔助電容設(shè)置于第二有源區(qū)，用于調(diào)節(jié)浮置擴(kuò)散區(qū)域的轉(zhuǎn)換增益；其中，在第二有源區(qū)的半導(dǎo)體襯底中開(kāi)設(shè)有若干條溝槽，該溝槽的內(nèi)表面覆蓋有介電層，輔助電容的上極板覆蓋介電層且填充每條溝槽，與輔助電容的上極板相對(duì)的半導(dǎo)體襯底作為輔助電容的下極板。輔助電容的上極板填充每條溝槽，可以提高輔助電容的電容值，從而能夠滿足圖像傳感器更大的像素滿阱容量的需求，提高圖像傳感器的動(dòng)態(tài)范圍。本發(fā)明還提供該雙轉(zhuǎn)換增益圖像傳感器的制作方法。

本發(fā)明授權(quán)雙轉(zhuǎn)換增益圖像傳感器及其制作方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種雙轉(zhuǎn)換增益圖像傳感器，其特征在于，包括：半導(dǎo)體襯底，所述半導(dǎo)體襯底包括第一有源區(qū)和第二有源區(qū)，且所述第一有源區(qū)和所述第二有源區(qū)之間設(shè)置有淺溝槽隔離結(jié)構(gòu)；浮置擴(kuò)散區(qū)域，所述浮置擴(kuò)散區(qū)域設(shè)置于所述第一有源區(qū)中，用于接收來(lái)自光敏器件的存儲(chǔ)電荷；輔助電容，所述輔助電容設(shè)置于所述第二有源區(qū)，用于調(diào)節(jié)所述浮置擴(kuò)散區(qū)域的轉(zhuǎn)換增益；其中，在所述第二有源區(qū)的半導(dǎo)體襯底中開(kāi)設(shè)有若干條溝槽，所述溝槽的內(nèi)表面覆蓋有介電層；所述輔助電容的上極板覆蓋所述介電層且填充每條所述溝槽，與所述輔助電容的上極板相對(duì)的所述半導(dǎo)體襯底作為所述輔助電容的下極板；所述浮置擴(kuò)散區(qū)域具有FD電容，所述第一有源區(qū)還設(shè)置有所述光敏器件、轉(zhuǎn)移管、開(kāi)關(guān)管和復(fù)位管，其中，所述光敏器件的輸出端連接所述轉(zhuǎn)移管的第一源漏區(qū)，所述轉(zhuǎn)移管的第二源漏區(qū)連接所述開(kāi)關(guān)管的第一源漏區(qū)和所述FD電容的一端，所述FD電容的另一端接地，所述開(kāi)關(guān)管的第二源漏區(qū)連接所述復(fù)位管的第一源漏區(qū)和所述輔助電容的上極板，所述輔助電容的下極板接地，所述復(fù)位管的第二源漏區(qū)接電源電壓。

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