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龍圖騰網(wǎng)恭喜浙江工業(yè)大學(xué)申請(qǐng)的專利一種高響應(yīng)靈敏度的催化燃燒式氫氣傳感器及其制備方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114813856B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-10發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210366188.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01N27/12；該發(fā)明授權(quán)一種高響應(yīng)靈敏度的催化燃燒式氫氣傳感器及其制備方法是由謝波;胡軍;李增輝;錢浩宇設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-04-08向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種高響應(yīng)靈敏度的催化燃燒式氫氣傳感器及其制備方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種高響應(yīng)靈敏度的催化燃燒式氫氣傳感器及其制備方法，所述催化燃燒式氫氣傳感器包括催化燃燒元件和補(bǔ)償元件，所述催化燃燒元件和補(bǔ)償元件都是以云母片為絕緣襯底，并且在云母片襯底的正面上依次附著鉑電阻和氧化鋁薄膜載體的平面結(jié)構(gòu)；其中，催化燃燒元件的正反兩面都沉積有一層催化劑材料，正面沉積的催化劑材料是附著在氧化鋁薄膜載體外表面，反面沉積的催化劑材料是附著在云母片襯底背面上作為增敏元件。本發(fā)明提出的催化燃燒式氫氣傳感器，催化燃燒式主體元件采用平面結(jié)構(gòu)具有制備工藝簡單、結(jié)構(gòu)性能穩(wěn)定的特點(diǎn)。同時(shí)，在催化燃燒元件的正反兩面都沉積催化劑，顯著增強(qiáng)了催化效果，使得器件的靈敏度大幅提高。

本發(fā)明授權(quán)一種高響應(yīng)靈敏度的催化燃燒式氫氣傳感器及其制備方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種高響應(yīng)靈敏度的催化燃燒式氫氣傳感器，其特征在于包括催化燃燒元件和補(bǔ)償元件，所述催化燃燒元件和補(bǔ)償元件都是以云母片為絕緣襯底，并且在云母片襯底的正面上依次附著鉑電阻和氧化鋁薄膜載體的平面結(jié)構(gòu)；其中，催化燃燒元件的正反兩面都沉積有一層催化劑材料，正面沉積的催化劑材料是附著在氧化鋁薄膜載體外表面，反面沉積的催化劑材料是附著在云母片襯底背面上作為增敏元件；催化燃燒元件的正反兩面沉積的催化劑材料均為鈀催化劑；鈀催化劑為鈀納米粒子，催化燃燒元件正面沉積的鈀納米粒子沉積范圍覆蓋整個(gè)氧化鋁薄膜載體的區(qū)域表面，正面沉積的鈀納米粒子的粒徑尺寸5~20nm；催化燃燒元件反面沉積的鈀納米粒子沉積范圍覆蓋催化燃燒元件區(qū)域的整個(gè)云母片襯底背面，反面沉積的鈀納米粒子的粒徑尺寸1~20nm；所述的一種高響應(yīng)靈敏度的催化燃燒式氫氣傳感器的制備方法，包括以下步驟：1）將掩模板貼于云母表面，利用磁控濺射鍍膜法先在云母片表面鍍金屬鈦或者鉻作為黏附層，然后同樣利用磁控濺射鍍膜法進(jìn)一步鍍鉑層得到鉑電阻結(jié)構(gòu)；2）在鉑電阻位置上鍍氧化鋁薄膜載體層，氧化鋁薄膜載體層通過射頻磁控濺射鍍膜法鍍膜形成，同樣利用掩模板實(shí)現(xiàn)選區(qū)鍍膜，鍍膜區(qū)域覆蓋整個(gè)鉑電阻分布的表面；3）按照上述步驟1）~2）的方法，制備得到補(bǔ)償元件和催化燃燒元件中間體；4）使用團(tuán)簇束流沉積設(shè)備在催化燃燒元件中間體的正反兩面都沉積有一層鈀納米粒子，正面沉積的鈀納米粒子附著并覆蓋在整個(gè)氧化鋁薄膜分布的區(qū)域表面，反面沉積的鈀納米粒子附著并覆蓋在整個(gè)云母片襯底背面。

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